[实用新型]一种加热装置和光刻机

权利要求书

1.一种加热装置，用于加热介质，其特征在于，包括导热管、套设在所述导热管的外表面上的至少一个加热片，所述加热片沿着介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端依次设置，所述加热片用于产生热量，所述加热片包括内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层，所述内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层沿着从所述加热片靠近所述导热管的一面到远离所述导热管的一面依次设置，所述内绝缘介质层用于所述导热管与所述电阻发热层之间的绝缘，所述外绝缘介质层用于所述电阻发热层的绝缘。

2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括温度检测装置和控制装置，所述温度检测装置用于检测所述介质的温度，所述控制装置用于根据所述检测装置检测的温度控制所述加热片产生热量。

3.如权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述加热片的数量为三个，三个所述加热片分别为第一加热片、第二加热片和第三加热片，三个所述加热片沿着介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端依次间隔设置。

4.如权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述第一加热片、第二加热片和第三加热片的最大加热功率依次降低、加热精度依次增高。

5.如权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述温度检测装置的数量为三个，分别为第一温度检测装置、第二温度检测装置和第三温度检测装置，所述第一温度检测装置设置在所述第一加热片和所述第二加热片之间，所述第二温度检测装置设置在所述第二加热片和所述第三加热片之间，所述第三温度检测装置设置在所述第三加热片与介质流出所述导热管的一端之间。

6.如权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述第一温度检测装置、所述第二温度检测装置和所述第三温度检测装置的检测精度依次增加。

7.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述导热管的管腔的内壁上设置有螺旋状凸起，所述螺旋状凸起从介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端延伸。

8.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述导热管为无缝钢管。

9.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述导热管呈平面“S”型，或者所述导热管呈空间“O”型。

10.一种光刻机，其特征在于，包括至少一个如权利要求1-9任一项所述的加热装置。