[实用新型]一种带有集成控制系统的靶材烧结炉有效
申请号: | 201920802416.3 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN210220727U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 李兵 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | F27D19/00 | 分类号: | F27D19/00 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 集成 控制系统 烧结炉 | ||
1.一种带有集成控制系统的靶材烧结炉,包括工作台、真空炉体、传动连接于工作台的升降驱动电机、安装于真空炉体内的发热元件、连接于真空炉体的排气阀及一独立于真空炉体的电控柜,电控柜内设置有集成控制系统,其特征在于:集成控制系统设置三相电源输入端,三相电源输入端并联有电源控制电路、升降驱动电路、炉温控制电路和炉压控制电路,
电源控制电路设置有电源启动模块、人机输入界面、PLC控制单元,PLC控制单元与人机输入界面配置成串行通讯模式,以接收人机输入界面的运行参数;
人机输入界面的电源接线端和PLC控制单元的电源接线端分别电连接电源启动模块;
升降驱动电路设置有一变频支路,PLC控制单元通过信号输出端口导通或切断变频支路,变频支路的输出端电连接升降驱动电机;
炉压控制电路设置有一固态继电器,固态继电器的输入控制端电连接PLC控制单元的信号输出端口,固态继电器的受控输出端电连接排气阀,炉温控制电路电连接发热元件。
2.根据权利要求1所述的一种带有集成控制系统的靶材烧结炉,其特征在于:所述电源启动模块设置有电源启动支路、电源指示支路、直流供电支路;
电源启动支路设置有过流保护开关QF5和钥匙开关K1,过流保护开关QF5和钥匙开关K1串联形成一电源启动支路,电源启动支路设有电源输入端和交流供电端,电源启动支路的电源输入端电连接三相电源输入端,
电源指示支路设置有电源指示灯H1,直流供电支路设置有整流器,
电源指示灯H1和整流器分别并联于电源启动支路的交流供电端,以分别形成电源指示支路和直流供电支路;
人机输入界面的电源接线端电连接整流器的直流供电端、PLC控制单元的电源接线端电连接交流供电端。
3.根据权利要求1所述的一种带有集成控制系统的靶材烧结炉,其特征在于:升降驱动电路设置有升降预警支路和所述变频支路,
升降预警支路设置有第一升降预警蜂鸣器Y1、第二升降预警蜂鸣器Y2和中间继电器KA3,
中间继电器KA3的常开开关的一端分别并联第一升降预警蜂鸣器Y1和第二升降预警蜂鸣器Y2,中间继电器KA3的常开开关的另一端电连接三相电源输入端,中间继电器KA3的线圈电连接PLC控制单元的信号输出端口,以形成升降预警支路。
4.根据权利要求3所述的一种带有集成控制系统的靶材烧结炉,其特征在于:所述变频支路设置有变频器、中间继电器KA1和中间继电器KA2,变频器设置有调频旋钮;
变频器的电源输入端电连接三相电源输入端,变频器的供电输出端电连接升降驱动电机,中间继电器KA1的常开开关和中间继电器KA2的常开开关分别电连接于变频器的两个信号选择通道,中间继电器KA1的线圈和中间继电器KA2的线圈分别电连接PLC控制单元的信号输出端口。
5.根据权利要求2所述的一种带有集成控制系统的靶材烧结炉,其特征在于:炉温控制电路设置有发热驱动支路和温度反馈支路,
温度反馈支路用于采集发热元件的温度数据,且温度反馈支路根据温度数据调整发热驱动支路的输出端的电压大小或电流大小,
发热驱动支路设置有三相功率驱动器、交流接触器KM1和三相变压器TC1,
三相电源输入端电连接交流接触器KM1的常开开关的第一端,交流接触器KM1的常开开关的第二端电连接三相功率驱动器的电源输入端口,交流接触器KM1的线圈电连接PLC控制单元的信号输出端口;
三相变压器TC1的输入端电连接三相功率驱动器的供电输出端口,三相变压器TC1的输出端并联有一三相电流互感器和所述发热元件,三相电流互感器耦接有一三相电压表和一三相电流表。
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