[实用新型]一种充氦回收管路用气动集成阀

说明书

本实用新型提供了一种充氦回收管路用气动集成阀,目的是解决现有充氦回收管路所采用的较多的CKD电磁阀而导致的管路复杂、接头数量多、空间占用较大的技术问题。该气动集成阀包括封装于集成座中的集成管路以及固定于集成座外侧的若干阀体。阀体包括阀座、阀芯和调节气缸，调节气缸活塞杆贯穿阀座顶部与阀芯固定连接，从而控制阀芯对阀座管口的密封情况，以实现阀体的启闭和控制通径。本实用新型可根据管路需求，将所需数量阀门集中固定在集成座处，从而减少了管路的焊接量、同时降低了空间占用。同时，本实用新型申请阀座处管口不必区分进出口、正反均可使用，有利于简化管路、减少阀门的使用数量。

技术领域

本实用新型涉及真空氦检技术领域，尤其是涉及一种充氦回收管路用气动集成阀。

背景技术

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高、简便易操作、仪器反应灵敏、精度高、不易受其他气体的干扰等优点而得到广泛应用。氦质谱检漏采用以氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，由其质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子。随后在加速电场作用下进入磁场，在洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道。改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。处于成本及资源保护的考虑，检漏后氦气须进行提纯回收。

现有充氦回收管路多采用CKD电磁阀控制，由于回收管路本身较为复杂、加之上述阀门具有方向性，从而导致管路中电磁阀数量较多、接头数很多、线路复杂、空间占用较大。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种充氦回收管路用气动集成阀，解决了现有充氦回收管路所采用的较多的CKD电磁阀而导致的管路复杂、接头数量多、空间占用较大的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种充氦回收管路用气动集成阀，其特征在于，该气动集成阀包括：

集成管路，具有一个总管口和多个分支管口；

集成座，具有内部容置空间，套设于集成管路外侧；

若干阀座，固定于集成座处，具有内腔，侧壁对设有与内腔相连通的管口；

阀芯，在阀座内竖直移动，活动密封管口；

调节气缸，固定于阀座顶部，其活塞杆贯穿阀座顶壁、与阀芯固定连接；

其中，集成管路的管口均出露于集成座外侧，阀座的一侧管口与集成管路的分支管口密封连接。

进一步地，集成管路的总管口和分支管口分别开设于集成座顶部和正面。

进一步地，阀座采用不锈钢材质。

进一步地，该气动集成阀包括：

固定架，固定设置于集成座背面。

进一步地，阀芯包括：

主阀芯，外径与阀座内径相匹配，在阀座内竖直往复移动、与阀座的管口活动密封；

防漏阀芯，通过连杆固定于主阀芯上方，并与调节气缸的活塞杆连接固定；

弹性体，设置阀座底部，与主阀芯底部相接。

进一步地，主阀芯、防漏阀芯及其连杆均采用不锈钢材质。

进一步地，主阀芯、防漏阀芯外侧包裹或涂覆密封材料。

进一步地，弹性体采用弹簧。

本实用新型有益效果在于：