[实用新型]一种载具及生产线有效

专利信息
申请号: 201920797879.5 申请日: 2019-05-29
公开(公告)号: CN210620931U 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 苏明 申请(专利权)人: 德州易能新能源科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 代理人: 韩来兵
地址: 251200 山东省德州市(禹城)国家高*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 生产线
【说明书】:

本实用新型涉及一种载具及生产线,包括支撑层和连接于所述支撑层上方的接触层,所述支撑层的一个或多个竖直截面呈拱形。通过将支撑层的一个方向设计为拱形或多个方向设计为拱形,相较于同样上下边线的平面形的支撑层,其厚度较薄,用料减少,成本降低,而且质量较轻,重力作用下的向下弯曲和变形可减缓甚至避免;拱形的设计能够增加支撑层对接触层的支撑力,进一步减少重力作用下的向下弯曲和变形;在上述拱形设计和较薄厚度的基础上,增加了支撑层底部与腔室或闸阀通道底的间距,在支撑层发生形变时仍能避免传动拖底卡料,进一步提高了载具的耐受性。

技术领域

本实用新型涉及自动生产技术领域,尤其涉及一种载具及生产线。

背景技术

铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池采用多元共蒸发方法沉积铜铟镓硒(CIGS)吸收层的工艺过程中,衬底玻璃的传输依靠载具(carrier)来实现,衬底玻璃载具作为衬底玻璃传输载体,承载衬底玻璃在腔室内进行传输完成CIGS沉积工艺。载具承载衬底玻璃完成CIGS工艺的过程中,需要反复接触600℃高温的真空腔室环境及室温的大气环境中,在高温腔室中,衬底玻璃载具中支撑横梁在高温条件下受重力作用易发生弯曲,如图1所示为载具的正常使用状态,如图2所示为载具变形时的状态,当支撑横梁形变过大时可能导致传动托底卡料,衬底玻璃在腔室破碎,造成不可接受的损失。

因此,需要提供一种载具及生产线来解决现有技术的不足。

实用新型内容

为了解决现有技术中的问题,本实用新型提供了一种载具及生产线。

一种载具,包括支撑层和连接于所述支撑层上方的接触层,所述支撑层的一个或多个竖直截面呈拱形。

进一步的,所述支撑层为由横梁和竖梁组成的框架,所述接触层为由横梁和竖梁组成的框架。

进一步的,所述支撑层包括两根相互平行的第一竖梁和设于两根所述第一竖梁间且分别与所述第一竖梁垂直的至少两根第一横梁;所述接触层包括两根相互平行的第二竖梁和设于两根所述第二竖梁间且分别与所述第二竖梁垂直的至少两根第二横梁;两根所述第二竖梁一一对应设于两根所述第一竖梁上方,至少两根所述第二横梁一一对应设于至少两根所述第一横梁上方。

进一步的,所述第一竖梁、所述第二竖梁和所述第二横梁均呈直线形;所述第一横梁呈拱形。

进一步的,所述第一横梁包括承重段和对称连接于所述承重段两端的支撑段,所述支撑段沿远离所述承重段的方向向下倾斜。

进一步的,所述承重段呈直线形。

进一步的,所述支撑段呈直线形,所述支撑段与所述承重段间的夹角为150°-170°。

进一步的,所述支撑段呈弧线形,所述支撑段的与所述承重段连接的一端的切线与所述承重段间的夹角为155°-175°。

进一步的,所述承重段上表面设有卡勾,所述第二横梁在对应位置设有与所述卡勾匹配的卡勾孔;所述卡勾与所述卡勾孔连接以使所述第一横梁与所述第二横梁连接。

基于同一发明思路,本实用新型还提供了一种生产线,包括所述的载具。

本实用新型的技术方案与最接近的现有技术相比具有如下优点:

本实用新型提供的技术方案提供的载具,通过将支撑层的一个方向设计为拱形或多个方向设计为拱形,相较于同样上下边线的平面形的支撑层,其厚度较薄,用料减少,成本降低,而且质量较轻,重力作用下的向下弯曲和变形可减缓甚至避免;拱形的设计能够增加支撑层对接触层的支撑力,进一步减少重力作用下的向下弯曲和变形;在上述拱形设计和较薄厚度的基础上,增加了支撑层底部与腔室或闸阀通道底的间距,在支撑层发生形变时仍能避免传动拖底卡料,进一步提高了载具的耐受性。

附图说明

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