[实用新型]一种注凝成型熔融石英坩埚

说明书

本实用新型涉及坩埚技术领域，且公开了一种注凝成型熔融石英坩埚，包括石英坩埚，所述石英坩埚的左右两侧均固定连接有海绵层，两个所述海绵层远离石英坩埚的一侧固定安装有外板，两个所述外板的内部均固定安装有数量为两个的活动轴，所述活动轴的内部固定连接有外圈，所述外圈远离活动轴的一端固定安装有固定块，所述固定块的内部活动连接有固定杆，所述外圈的内部固定安装有软橡胶，两个所述外板的底部均固定连接有底座，所述底座的底部固定安装有增阻垫。该注凝成型熔融石英坩埚，解决了石英质脆，易破，使用时要注意，而现在的石英坩埚在运输过程中，没有固定保护装置，容易破裂的问题。

技术领域

本实用新型涉及坩埚技术领域，具体为一种注凝成型熔融石英坩埚。

背景技术

石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚，他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点。

国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸、20英寸、22英寸和22及以上的坩埚，目前国内坩埚生产大厂家生产的坩埚技术都比较成熟，其生产使用原料石英砂由美国进口和挪威高纯石英砂两种，但是石英质脆，易破，使用时要注意，而现在的石英坩埚在运输过程中，没有固定保护装置，容易破裂，故而提出了一种注凝成型熔融石英坩埚来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种注凝成型熔融石英坩埚，具备保护效果好等优点，解决了石英质脆，易破，使用时要注意，而现在的石英坩埚在运输过程中，没有固定保护装置，容易破裂的问题。

(二)技术方案

为实现上述保护效果好的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种注凝成型熔融石英坩埚，包括石英坩埚，所述石英坩埚的左右两侧均固定连接有海绵层，两个所述海绵层远离石英坩埚的一侧固定安装有外板，两个所述外板的内部均固定安装有数量为两个的活动轴，所述活动轴的内部固定连接有外圈，所述外圈远离活动轴的一端固定安装有固定块，所述固定块的内部活动连接有固定杆，所述外圈的内部固定安装有软橡胶，两个所述外板的底部均固定连接有底座，所述底座的底部固定安装有增阻垫，所述底座的内部设置有载板，所述底座的内底部固定安装有连接块，所述连接块的内部活动连接有连接板，所述连接板的顶部固定安装有衬板，所述衬板靠近底座内壁的一侧固定连接有套板，所述套板的内部固定连接有轴承，所述轴承的轴心处固定连接有螺纹杆。

优选的，两个所述固定块的内部均开设有固定口，所述固定杆通过左侧固定块的固定口与右侧固定块的固定口固定连接。

优选的，所述底座的顶部开设有卡口，所述石英坩埚的底部通过卡口延伸至底座的内部。

优选的，所述衬板的数量为两个，两个所述衬板相对的一侧均为弧面，所述衬板为塑胶软板。

优选的，所述套板和衬板的底部均与连接板的顶部固定连接，所述载板的顶部开设有限位槽，所述连接块的顶部开设有滑槽，滑槽与连接板滑动连接。

优选的，所述套板的内部开设有放置槽，放置槽的内部与轴承的外轴固定连接。

优选的，所述底座的内壁开设有螺纹孔，所述螺纹杆通过螺纹孔延伸至底座的外部，所述螺纹杆远离轴承的一侧固定安装有转动杆。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种注凝成型熔融石英坩埚，具备以下有益效果：