[实用新型]一种用于激光光斑测量的装置

权利要求书

1.一种用于激光光斑测量的装置，其特征在于，包括测试座、分光镜、光阑和光斑测量仪器，所述测试座的一端对称设有两个倾斜的支撑座，两个支撑座相向的一侧均设有卡槽，以用于将分光镜安装于两卡槽中，分光镜的下面设有能量吸收模块，所述测试座的另一端用于安装光斑测量仪器，所述光阑设置于测试座上，且位于分光镜和光斑测量仪器之间，以使入射激光入射于分光镜上时，大部分激光透过分光镜，并被能量吸收模块吸收，而小部分的激光经分光镜的上表面或下表面反射形成反射激光，通过光阑阻挡杂光后反射激光聚焦于光斑测量仪器上以分析得到光斑测量结果。

2.根据权利要求1所述的用于激光光斑测量的装置，其特征在于，所述上表面反射激光通过光阑的光孔中心，并在光斑测量仪器的探测面上聚焦以分析得到光斑测量结果，而与上表面反射激光平行的下表面反射激光则被光阑阻挡。

3.根据权利要求1所述的用于激光光斑测量的装置，其特征在于，所述下表面反射激光通过光阑的光孔中心，并在光斑测量仪器的探测面上聚焦以分析得到光斑测量结果，而与下表面反射激光平行的上表面反射激光则被光阑阻挡。

4.根据权利要求1至3任一项所述的用于激光光斑测量的装置，其特征在于，所述支撑座的倾斜角为45度。

5.根据权利要求4所述的用于激光光斑测量的装置，其特征在于，所述测试座的另一端底部设有条形槽，以用于安装光斑测量仪器。

6.根据权利要求5所述的用于激光光斑测量的装置，其特征在于，入射激光入射于分光镜的入射点至扫描聚焦平面与入射点至光斑测量仪器的探测面的光程相等。

7.根据权利要求6所述的用于激光光斑测量的装置，其特征在于，所述测试座通过3D打印一体成型。