[实用新型]一种MEMS扬声器及通信设备

说明书

本申请公开了一种MEMS扬声器及通信设备，其中，所述MEMS扬声器中的振动膜层由柔性支撑和一个喇叭形振动结构构成，所述柔性支撑的一端设置于所述支撑结构背离所述薄膜换能器一侧；所述喇叭形振动结构设置于所述耦合结构背离所述薄膜换能器一侧；所述柔性支撑的另一端与所述喇叭形振动结构远离所述薄膜换能器一侧连接。由于所述喇叭形振动结构的表面积相较于传统的平面振动膜层的表面积较大，从而增加了MEMS扬声器的辐射面积，并且由于所述喇叭形振动结构的聚拢形状，使得所述MEMS扬声器发射的声音可以通过该喇叭形振动结构实现声音的聚焦，进而增加了扬声器的发射声压灵敏度。

技术领域

本申请涉及声学设备技术领域，更具体地说，涉及一种MEMS扬声器及通信设备。

背景技术

声音是由物体振动产生的，我们把正在发生的物体叫做声源。物体振动产生的压力波通过空气运动，进而振动内耳的听小骨，这些振动被听小骨转化为微小的电子脑波，从而使得人能够察觉到声音。

扬声器，又称喇叭，是一种常见的电声换能器件，其作用是将电信号转换为声信号，并通过振动的形式将声信号向外界传输，以实现声音的传递。

MEMS(微机电系统，Micro-Electro-Mechanical System)扬声器，具有功耗低、尺寸小、体积小和一致性好等优点，是扬声器领域的发展方向。但是由于MEMS扬声器的辐射面积相较于传统的扬声器的辐射面积减小，现有的MEMS扬声器的发射声压灵敏度还不能够完全满足实用化的需求。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本申请提供一种MEMS扬声器及通信设备，以实现提升扬声器的发射声压灵敏度的目的。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种MEMS扬声器，包括：

薄膜换能器；

设置于所述薄膜换能器表面的耦合结构和支撑结构，所述支撑结构分别位于所述耦合结构的周围，所述支撑结构与所述耦合结构之间具有空腔结构；

位于所述耦合结构和支撑结构背离所述薄膜换能器一侧的振动膜层，所述振动膜层包括柔性支撑和一个喇叭形振动结构；

所述柔性支撑的一端设置于所述支撑结构背离所述薄膜换能器一侧；所述喇叭形振动结构设置于所述耦合结构背离所述薄膜换能器一侧；

所述柔性支撑的另一端与所述喇叭形振动结构远离所述薄膜换能器一侧连接。

可选的，所述柔性支撑为至少具有竖直平面伸缩自由度的柔性支撑。

可选的，所述柔性支撑为高分子防水材料柔性支撑；

所述喇叭形振动结构为高分子防水材料喇叭形振动结构。

可选的，所述喇叭形振动结构包括底面和顶面；

所述底面的直径小于所述顶面的直径；

所述底面设置于所述耦合结构表面，所述底面为封闭面；

所述顶面的外延与所述柔性支撑的一端固定连接，所述顶面为敞开面。

可选的，所述薄膜换能器包括：压电换能器或振动传导膜层和压电换能器构成的组合结构；

在所述组合结构中，所述振动传导膜层用于承载所述耦合结构和两个所述支撑结构，并与所述压电换能器连接，所述压电换能器用于产生振动推动所述耦合结构运动；

所述压电换能器设置于所述振动传导膜层背离所述喇叭形振动结构一侧。

可选的，所述振动传导膜层为氮化硅膜、氧化硅膜和硅膜中的一种膜层，或为氮化硅膜、氧化硅膜和硅膜中的多种膜层的叠加膜层。