[实用新型]一种硅棒粘胶固定装置

说明书

本实用新型公开了一种硅棒粘胶固定装置。包括：底板；弧面托架，其设置在所述底板的上方,用于承托硅柱；以及缓冲装置，其设置在所述弧面托架与底板之间，用于缓冲硅棒下落过程中对底板的冲击；多组夹持装置，其分别设置在所述弧面托架的两侧，用于相互配合夹持硅柱；其中，所述缓冲装置包括；一对第一滑轨，其并列设置在所述底板上；一对第一滑块，其分别设置在第一滑轨上；连接板，其两侧分别与第一滑块连接；多个阻尼减震器，其下端分别设置在所述连接板上，阻尼减震器的上端与所述弧面托架连接，用于弹性支撑所述弧面托架。本实用新型的有益效果是：设有缓冲装置，能够避免硅棒与垫板间产生相对滑动。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片制造领域，特别涉及一种硅棒粘胶固定装置。

背景技术

单晶硅是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

硅柱的处理过程有一步粘胶工艺，在此过程中，硅棒自高出落下，掉落下盛有胶液的垫板，利用重力的冲击使硅柱与垫板粘结。在现有工艺中，将垫板放置在一个水平台面上，硅棒自上方落下，由于硅棒重力较大，与水平台面间的冲量也很大，致使硅棒与垫板之间产生相对滑动，从而致使硅棒与垫板粘结效果不佳。

因此，一种能够缓冲硅棒下落过程中冲击的运送车成为解决问题的关键。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅棒粘胶固定装置，其设有缓冲装置，能够避免硅棒与垫板间产生相对滑动。

本实用新型还有一个目的在于提供一种硅棒粘胶固定装置，在粘胶过程中，能够夹持和固定硅棒。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括：

底板；

弧面托架，其设置在所述底板的上方,用于承托硅柱；以及

缓冲装置，其设置在所述弧面托架与底板之间，用于缓冲硅棒下落过程中对底板的冲击；

多组夹持装置，其分别设置在所述弧面托架的两侧，用于相互配合夹持硅柱；

其中，所述缓冲装置包括；

一对第一滑轨，其并列设置在所述底板上；

一对第一滑块，其分别设置在第一滑轨上；

连接板，其两侧分别与第一滑块连接；

多个阻尼减震器，其下端分别设置在所述连接板上，阻尼减震器的上端与所述弧面托架连接，用于弹性支撑所述弧面托架。

优选的是，还包括：

通孔，其纵向设置在所述第一滑块上；

第一限位连杆，其沿所述第一滑轨轴向设置位于所述第一滑轨的上方，并穿过所述通孔；

第一压缩弹簧，其分别设置在所述第一限位连杆的两端，一端与所述第一滑轨端部相抵接，另一端与所述第一滑块端面相抵接。

优选的是，还包括：

多个贯通孔，其横向均布在所述第一滑轨和第一滑块上；

U型限位销，其销柱选择性地穿过所述贯通孔，用于将所述第一滑轨和第一滑块的位置固定；

其中，在所述销柱端部设有外螺纹，通过螺母将所述U型限位销固定。

优选的是，所述夹持装置包括：

一对立柱，其镜像设置在所述弧面托架的两侧，在所述立柱的顶端，设有向内弯曲的延伸部；