[实用新型]一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具

说明书

本实用新型是一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具，包括盲板；盲板上部设有多个O‑RING槽，盲板内部设有交汇的通道，盲板下部设有法兰头焊接口；盲板上还设有多个螺纹孔。在O‑RING槽内设有O‑RING圈。O‑RING槽11通过通道与法兰头焊接口连接。盲板通过侧壁打孔加工形成通道，最后将侧壁孔焊接堵死，形成密闭通道。本实用新型能将三个或者多个独立的通道连通。且安装与拆卸简便、密封性好，为存在多个独立通道的工件提供了良好的密封和测试方式。

技术领域

本实用新型属于半导体真空测试领域，特别是涉及一种存在多个独立通道工件的真空测试密封治具。适用于IC装备制造业中涉及到存在多个独立通道工件的真空密封。

背景技术

目前，在IC晶圆加工设备中，对其设备内部环境的真空度及密封性要求很高，密封性的好坏直接影响着晶圆的加工能否顺利进行。而设备的整体真空度及真空漏率则是由其各组成零部件保证的，因此，必须保证零部件的真空度及漏率的检测结果是可靠的。由于晶圆的加工设备是由多种零部件组装而成的，其整体的密封性的测试可以通过各零部件之间相互组装配合进行。而对于单一零部件的测试而言，有许多特殊工件，例如在同一平面存在多个独立通道的工件，需要用普通治具一个一个测试，费时费力。鉴于上述情况，有必要设计一种专用密封治具以满足此类工件的密封。

实用新型内容

针对上述存在的技术问题，本实用新型提供一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具，可以通过此治具来满足同一平面存在多个独立通道工件的密封。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具，包括盲板；盲板上部设有多个O-RING槽，盲板内部设有交汇的通道，盲板下部设有法兰头焊接口；盲板上还设有多个螺纹孔。

在O-RING槽内设有O-RING圈。

O-RING槽11通过通道与法兰头焊接口连接。

盲板通过侧壁打孔加工形成通道，最后将侧壁孔焊接堵死，形成密闭通道。

本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型能有效对存在多个独立通道的工件进行密封。其中具有通道交汇作用的治具可以将工件的多个独立通道汇总在一起的作用。

2.本实用新型既拆卸简便、易固定且密封性好，在解决多个独立通道密封性的同时，进一步提升了可操作性。本实用新型尤其适用于存在多个独立通道等类似工位的密封。

附图说明

图1为密封治具的俯视图。

图2为密封治具截面图。

具体实施方式

下面结合附图1-2和实施例对本实用新型进行详细描述。

一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具，包括盲板1；

盲板1上部设有多个O-RING槽11，盲板1内部设有交汇的通道13，盲板1下部设有法兰头焊接口12；盲板1上还设有多个螺纹孔14。在O-RING槽11内设有O-RING圈。O-RING槽11通过通道13与法兰头焊接口12连接。

盲板1通过侧壁打孔加工形成通道13，最后将侧壁孔焊接堵死，形成密闭通道13。

实施例

本实用新型包括内部带有交汇通道的盲板1，盲板1包括O-RING槽11，KF25法兰头焊接口12，三条交汇的内部通道13以及与工件固定的6个螺纹孔14。

使用前，先将KF25法兰头与盲板1的法兰头焊接口12焊接在一起；盲板的三条独立通道端口焊接，在O-RING槽11内安装匹配的O-RING橡胶圈，然后将带有O-RING圈的盲板1与工件通过14螺纹孔固定，其中O-RING圈与工件表面相互挤压起到密封作用。