[实用新型]一种真空高偏压转架的固定结构

权利要求书

1.一种真空高偏压转架的固定结构，其特征在于，包括基板(1)和固定夹持机构(2)，所述基板(1)上端面固定安装有两个固定夹持机构(2)，两个所述固定夹持机构(2)规格一致且相互之间关于基板(1)上端面中心作中心对称分布。

2.根据权利要求1所述的一种真空高偏压转架的固定结构，其特征在于，所述基板(1)上端面开设有第一圆槽(11)，所述第一圆槽(11)内设置有一个第一转动圆板(12)，所述第一转动圆板(12)与第一圆槽(11)规格相适配设计，所述基板(1)内设置有一个第一啮合盘(13)，所述第一啮合盘(13)与第一转动圆板(12)固定安装，所述第一啮合盘(13)下端面中心位置固定安装有第一转轴(14)，所述第一啮合盘(13)通过第一转轴(14)与基板(1)转动安装。

3.根据权利要求1所述的一种真空高偏压转架的固定结构，其特征在于，所述基板(1)上端面开设有第二圆槽(15)，所述第二圆槽(15)内设置有二个第二转动圆板(16)，所述第二转动圆板(16)与第二圆槽(15)规格相适配设计，所述基板(1)内设置有一个第二啮合盘(17)，所述第二啮合盘(17)与第二转动圆板(16)固定安装，所述第二啮合盘(17)下端面中心位置固定安装有第二转轴(18)，所述第二啮合盘(17)通过第二转轴(18)与基板(1)转动安装，所述第二啮合盘(17)与第一啮合盘(13)啮合连接，所述第二转动圆板(16)上端面中心位置固定安装有第一螺栓六角螺块(19)。

4.根据权利要求1所述的一种真空高偏压转架的固定结构，其特征在于，两个所述固定夹持机构(2)均包括固定板(21)，两个所述固定板(21)相远离一侧中心位置均开设有第一槽(22)，两个所述固定板(21)内均开设有第二槽(23)，两个所述第一槽(22)内均转动安装有六角螺帽(24)，两个所述第二槽(23)内均转动安装有限位环(25)，两个所述第一槽(22)分别与两个第二槽(23)内腔连通设置，两个所述六角螺帽(24)分别与两个限位环(25)固定连接，两个所述六角螺帽(24)外表面均固定套装有一个法兰(26)，两个法兰(26)相向一侧分别与两个固定板(21)相远离一侧接触。

5.根据权利要求4所述的一种真空高偏压转架的固定结构，其特征在于，两个所述固定板(21)两相对侧壁均贯穿开设有两个限位孔(27)，两个所述固定板(21)相向一侧均设置有一个夹持板(28)，两个所述夹持板(28)相远离一侧中心位置分别垂直固定连接有一个螺纹杆(29)，两个所述螺纹杆(29)相远离一端分别贯穿两个第一槽(22)以及对应的两个六角螺帽(24)，两个所述螺纹杆(29)分别与两个六角螺帽(24)螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空高偏压转架的固定结构，其特征在于，两个所述夹持板(28)相远离一侧分别垂直固定连接有两个限位杆(210)，四个所述限位杆(210)分别与四个限位孔(27)规格相适配且位置相对应设置。