[实用新型]阀板组件以及钟摆阀

说明书

本实用新型涉及半导体刻蚀设备技术领域，公开了一种钟摆阀，包括阀板组件，阀板组件包括阀板、阀腔以及定型螺柱，在阀腔的内底壁上设置有承接件，定型螺柱能够与承接件螺纹配合以将阀板固定在二者之间。阀板组件还包括：驱动件，用于驱动定型螺柱转动；控制单元，与驱动件通信连接，控制单元能够控制驱动件的动作。本实用新型的阀板组件能够在将阀板放置于阀腔内的正确位置后，自动旋拧定型螺柱，将阀板固定在阀腔内，减轻作业人员的劳动强度、提高生产效率的同时，能够将阀板锁紧在阀腔中，提高真空腔体的压力稳定，进而提高真空腔体的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种阀板组件以及钟摆阀。

背景技术

现有的半导体设备中，真空腔体的压力控制可通过钟摆阀进行调节，钟摆阀中主要实施调节的则是阀板。在对真空腔体进行维护时，需要将阀板拆卸并进行保养，然后再利用螺钉将阀板进行安装。钟摆阀包括阀腔、位于阀腔内的阀板以及将阀板固定在阀腔内的螺钉。安装阀板时，将阀板的一端置于螺钉的头部与阀腔底壁之间，旋拧螺钉，从而将阀板固定。拆卸阀板时，只需要将螺钉反向旋拧，松开阀板，再将阀板从阀腔中取出即可。

但是，现有技术中，阀板的安装与拧紧都由人工手动进行，手工作业劳动强度大，生产效率低下。另外，人工旋拧容易旋拧不紧，导致真空腔体在运行过程中出现压力控制不稳定或者阀板之间的摩擦而产生颗粒污染。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述技术问题而提出，目的在于提供一种阀板组件。本实用新型的阀板组件能够在将阀板放置于阀腔内的正确位置后，自动旋拧定型螺柱，将阀板固定在阀腔内，减轻作业人员的劳动强度、提高生产效率的同时，能够将阀板锁紧在阀腔中，提高真空腔体在运行过程中的压力稳定。

具体来说，本实用新型提供了一种阀板组件，用于钟摆阀内，包括阀板、阀腔以及定型螺柱，在阀腔的内底壁上设置有承接件，定型螺柱能够与承接件螺纹配合以将阀板固定在二者之间，阀板组件还包括：驱动件，用于驱动定型螺柱转动；控制单元，与驱动件通信连接，控制单元能够控制驱动件的动作。

相较于现有技术而言，本实用新型提供的阀板组件，无需作业人员手动旋拧，驱动件能够自动旋拧定型螺柱，减轻作业人员的劳动强度，提高生产效率。同时，由于机械旋拧的旋拧力度较大，能够将阀板锁紧在阀腔中，使得阀板的运动轨迹在正确轨道上，真空腔体在运行过程中的压力稳定。

另外，作为优选，阀板组件还包括：

压力传感器，设置在承接件用于承接阀板的一侧、并与控制单元通信连接，控制单元根据压力传感器检测到的压力值控制驱动件的动作；

响应于压力传感器检测到大于等于N₀且小于N₁的压力值，控制单元控制驱动件开始工作；

响应于压力传感器检测到的大于等于N₁的压力值，控制单元控制驱动件停止工作。

根据该优选方案，设置压力传感器与控制单元通信连接，阀板一置入阀腔的正确位置时，驱动件自动工作、旋拧定型螺柱，提高设备运行的自动化程度，定型螺柱能够确保对阀板的旋拧，阀板的安装误差小，安装效率高。

在真空腔体维持真空的过程中，压力传感器与控制单元的通信配合还可继续进行。在真空腔体运行过程中，一旦定型螺柱发生松动、压力传感器检测到压力值小于N₁后，控制单元还可根据压力传感器传递的数值控制驱动件动作，将定型螺柱拧紧。

进一步地，作为优选，压力传感器设置在承接件靠近阀腔的腔体内部的一侧。

根据该优选方案，设置检测承接件靠近阀腔的腔体内部的一侧，能够根据压力传感器的压力值，精准检测阀板是否置于定型螺柱与承接件之间，进而有利于控制单元精准控制驱动件工作。