[实用新型]一种冷壁化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述冷壁化学气相沉积装置包括：

设置有化学沉积反应区的主腔体(1)，所述化学沉积反应区处设置有用于提供化学沉积反应所需温度的第一加热装置(2)；

气体源装置，设置在所述主腔体(1)外部，用于向所述化学沉积反应区提供前驱体为气体的第一待反应气体；

设置在所述主腔体(1)内的副腔体(3)，所述副腔体(3)用于加热固态源以向所述化学沉积反应区提供前驱体为固体的第二待反应气体。

2.根据权利要求1所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一加热装置(2)包括设置在竖直方向上的彼此相对的可升降的上加热器(21)和可升降的下加热器(22)；

所述下加热器(22)朝向所述上加热器(21)的一侧设置有用于承载衬底材料的托盘(23)；

所述托盘(23)上方形成所述化学沉积反应区。

3.根据权利要求2所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述可升降的上加热器(21)包括第一电机轴(211)和第一加热器(212)；

所述第一电机轴(211)安装在所述主腔体(1)的上盖上，并可相对所述主腔体(1)的上盖升降；

所述第一加热器(212)固定设置在所述第一电机轴(211)远离所述主腔体(1)的上盖的一端。

4.根据权利要求2所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述可升降的下加热器(22)包括第二电机轴(221)和第二加热器(222)；

所述第二电机轴(221)安装在所述主腔体(1)的底盖上，并可相对所述主腔体(1)的底盖升降；

所述第二加热器(222)固定设置在所述第二电机轴(221)远离所述主腔体(1)的底盖的一端。

5.根据权利要求1所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述副腔体(3)上设置有进气口和出气口；

所述进气口处密封连接有带第一截止阀(31)的第一管道，所述出气口处密封连接有带第二截止阀(32)的第二管道，所述第二管道的另一端延伸至所述化学沉积反应区。

6.根据权利要求5所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述副腔体(3)包括一个、或至少两个相连通的子腔体(33)。

7.根据权利要求6所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述子腔体(33)包括：

密封腔体(331)；

第二加热装置(332)，设置在所述密封腔体(331)内，用于盛放并加热固态源使其挥发。

8.根据权利要求7所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述第二加热装置(332)包括由内到外依次嵌套设置的内衬层(3321)、加热元件(3322)和外固定层(3323)；

所述内衬层(3321)形成具有顶部开口的第一容器，所述第一容器用于盛放固态源；

加热元件(3322)，设置在所述第一容器的外部周侧，用于加热固态源使其挥发。

9.根据权利要求1-8任一项所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述冷壁化学气相沉积装置还包括：悬浮催化剂装置(4)；

所述悬浮催化剂装置(4)设置在所述化学沉积反应区上方，用于向所述化学沉积反应区提供催化剂。

10.根据权利要求9所述冷壁化学气相沉积装置，其特征在于，所述悬浮催化剂装置(4)包括：

载板(41)，其上设有一个或多个用于安放催化剂的穿孔；

第三电机轴(42)，一端固定连接所述载板(41)，另一端转动连接所述主腔体(1)的上盖。