[实用新型]一种退火炉余热回收装置

说明书

本实用新型公开了一种退火炉余热回收装置，包括抽烟管道，抽烟管道的一端头与退火炉的排烟口相连通，抽烟管道的另一端固定连接有余热回收机构，余热回收机构包括换热箱、水分流盒、水集流盒、气分流盒、气集流盒和多个换热水管，水分流盒和水集流盒分别焊接在换热箱的底板和顶板上，气分流盒和气集流盒分别焊接在换热箱的左侧板和右侧板上，多个换热水管竖直设置在换热箱的内腔中，换热水管的两端分别联通水分流盒和水集流盒，气分流盒和气集流盒均通过多个均匀设置的通气孔与换热箱的内腔相连通，气分流盒与抽烟管道相连通。本实用新型可同时对多个退火炉进行预热回收，可充分进行余热回收利用，提高利用率，节约能源。

技术领域

本实用新型涉及退火炉余热利用技术领域，具体为一种退火炉余热回收装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

现有的退火炉在使用时排出有高温烟气，高温烟气经管道排出外接环境中，导致大量热能丧失，也存在一些换热装置对高温烟气进行换热，然而这些换热装置大都不能进行充分的换热。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种退火炉余热回收装置，可同时对多个退火炉进行预热回收，可对退火炉排出的高温烟气进行充分换热，进行余热回收利用，提高利用率，节约能源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种退火炉余热回收装置，包括抽烟管道，所述抽烟管道的一端头与退火炉的排烟口相连通，所述抽烟管道的另一端固定连接有余热回收机构；

所述余热回收机构包括换热箱、水分流盒、水集流盒、气分流盒、气集流盒和多个换热水管，所述水分流盒和所述水集流盒分别焊接在所述换热箱的底板和顶板上，所述气分流盒和所述气集流盒分别焊接在所述换热箱的左侧板和右侧板上，多个所述换热水管竖直设置在所述换热箱的内腔中，所述换热水管的两端分别联通所述水分流盒和所述水集流盒，所述气分流盒和所述气集流盒均通过多个均匀设置的通气孔与所述换热箱的内腔相连通，所述气分流盒与所述抽烟管道相连通，所述水分流盒与进水管相连通，所述气集流盒通过管道连接有抽气泵，所述水集流盒通过管道连接有储水箱。

优选的，所述抽烟管道上固定安装有多个膨胀节。

优选的，所述换热水管设置有至少三个，且所述换热水管呈螺旋状结构。

优选的，所述储水箱为双层结构，且所述储水箱的夹层中设置有石棉保温层。

优选的，所述储水箱的底部设置有出水管，所述出水管上固定安装有阀门。

优选的，所述储水箱的底部固定焊接有支撑腿。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过抽烟管道通过多个分支连接管，可与多个退火炉相连通，可同时对多个退火炉进行预热回收；

2、通过换热箱、水分流盒、水集流盒、气分流盒、气集流盒和多个换热水管的配合，可对退火炉排出的高温烟气进行充分换热，换热后的热水储存在储水箱中，进行余热回收利用，提高利用率，节约能源。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的余热回收机构的剖视示意图；

图3为本实用新型的储水箱的剖视示意图。