[实用新型]一种单晶炉排气管道及单晶炉有效
| 申请号： | 201920774843.5 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN211522363U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 陈海云 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 755199 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 排气 管道 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉排气管道，其特征在于，
所述排气管道的内壁至少部分具有隔热体，所述隔热体的导热系数小于所述排气管道的导热系数；
所述隔热体为隔热衬套或隔热涂层，所述隔热衬套与所述排气管道可拆卸地连接，所述隔热涂层设置在所述排气管道的内壁；
所述隔热涂层为氧化锆、陶瓷微珠中任意一种涂层；
所述隔热衬套的材质包括石英玻璃、石墨毡、碳毡中任意一种；
所述隔热衬套包括相连接的内衬与凸缘；
所述内衬与所述排气管道的内壁接触，所述凸缘处于所述排气管道的开口位置；
所述隔热衬套的厚度至少为2mm，所述隔热衬套的长度至少为0.5m；
所述隔热涂层的厚度至少为1mm，所述隔热涂层的长度至少为0.5m。
2.根据权利要求1所述的排气管道，其特征在于，
所述排气管道包括同轴安装的内套管和外套管，所述内套管的外径小于所述外套管的内径，所述内套管的外壁和所述外套管的内壁之间具有间隙。
3.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括权利要求1至2任一项所述的排气管道，所述排气管道贯穿所述单晶炉的底板。
4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述隔热体从所述单晶炉的内腔延伸至外部，所述隔热体的长度至少大于所述单晶炉的底板的厚度。
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