[实用新型]一种改进型真空专用翻板阀有效
申请号: | 201920774795.X | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN210290778U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 王金泉;王伟平;张越臣 | 申请(专利权)人: | 常州市爱华真空设备有限公司 |
主分类号: | F16K1/18 | 分类号: | F16K1/18;F16K31/16;F16K27/02;F16K51/02;F16L23/22 |
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地址: | 213001 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进型 真空 专用 翻板阀 | ||
本实用新型提供一种改进型真空专用翻板阀,包括固定架、气缸、连接头、转动轴、转动板、密封板、硅胶软套、法兰、管道一、硅胶板、密封槽、密封圈以及管道二,密封板左端面安装有固定架,固定架上端面装配有气缸,气缸右侧连接有连接头,连接头下侧装配有转动轴,转动轴环形侧面装配有转动板,密封板内环形侧面粘接有硅胶软套,硅胶软套内环形侧面安装有法兰,密封板下侧安装有管道一,管道一内环形侧面设置有硅胶板,法兰内部开设有密封槽,密封槽内部装配有密封圈,密封圈内部安装有管道二,该设计解决了原有真空翻板阀密封效果不佳的问题,本实用新型结构合理,便于组合安装,密封效果好。
技术领域
本实用新型是一种改进型真空专用翻板阀,属于真空翻板阀技术领域。
背景技术
真空连续镀膜生产线一般由多个不同功能的模块构成,呈线例式拼装在一起,被镀基片从一端进入,经过整个镀膜生产线完成镀膜工艺,从另一端出片,满足真空镀膜正常运行需要满足不同模块间的不同真空度,形成从大气→镀膜工艺压力→大气的压力梯度,真空翻板阀是实现上述功能的核心部件。
现有技术中,现有的真空翻板阀,翻板阀的密封板和腔体密封面之间的连接处,两个面不平行,密封性能下降,影响使用者使用,现在急需一种改进型真空专用翻板阀来解决上述出现的问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种改进型真空专用翻板阀,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型结构合理,便于组合安装,密封效果好。
为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种改进型真空专用翻板阀,包括固定架、气缸、连接头、转动轴、转动板、密封板以及密封机构,所述密封板左端面安装有固定架,所述固定架上端面装配有气缸,所述气缸右侧连接有连接头,所述连接头下侧装配有转动轴,所述转动轴环形侧面装配有转动板,所述密封板内部设置有密封机构,所述密封机构包括硅胶软套、法兰、管道一、硅胶板、密封槽、密封圈以及管道二,所述密封板内环形侧面粘接有硅胶软套,所述硅胶软套内环形侧面安装有法兰,所述密封板下侧安装有管道一,所述管道一内环形侧面设置有硅胶板,所述法兰内部开设有密封槽,所述密封槽内部装配有密封圈,所述密封圈内部安装有管道二。
进一步地,所述硅胶板与管道一连接处设置有生料带。
进一步地,所述管道二与密封圈连接处涂有卡夫特白色硅胶。
进一步地,所述法兰前端面开设有多个圆孔,且多个圆孔内部设置有内螺纹。
进一步地,所述密封圈规格与密封槽规格相匹配,所述密封圈内部开设有环形槽,且环形槽槽宽等于管道二管壁的厚度。
进一步地,所述管道二下端面开设有多个柱形孔,且多个柱形孔内部设置有内螺纹。
本实用新型的有益效果:本实用新型的一种改进型真空专用翻板阀,因本实用新型添加了硅胶软套、法兰、管道一、硅胶板、密封槽、密封圈以及管道二,该设计能够对真空密封阀进行更好的密封,解决了原有真空翻板阀密封效果不佳的问题,提高了本实用新型的实用性。
因硅胶板与管道一连接处设置有生料带,该设计通过使用生料带提高了硅胶板与管道一之间的密封性,因管道二与密封圈连接处涂有卡夫特白色硅胶,该设计通过使用卡夫特白色硅胶使管道二与密封圈之间的密封效果更好,因法兰前端面开设有多个圆孔,且多个圆孔内部设置有内螺纹,该设计能够更好的对法兰进行固定,因密封圈规格与密封槽规格相匹配,密封圈内部开设有环形槽,且环形槽槽宽等于管道二管壁的厚度,进一步的提高了管道二与密封圈的密封性,本实用新型结构合理,便于组合安装,密封效果好。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型一种改进型真空专用翻板阀的结构示意图;
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