[实用新型]一种用于玻璃晶圆的精雕装置有效
申请号: | 201920766044.3 | 申请日: | 2019-05-27 |
公开(公告)号: | CN210190208U | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 徐峥 | 申请(专利权)人: | 南阳凯鑫光电股份有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 王志敏 |
地址: | 473001 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 玻璃 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于玻璃晶圆的精雕装置,包括精雕机本体,精雕机本体包括支撑板,支撑板的顶端侧壁固定有支撑柱,支撑柱远离支撑板的顶端侧壁固定有固定板,固定板的两端均开设有对称设置的第一凹槽,第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块,滑块之间固定有调节板,调节板与滑块之间垂直设置,调节板的顶端侧壁沿其长度方向开设有第一通孔,第一通孔的一侧侧壁沿其长度方向开设有多个齿条,调节板的一端延伸至第一凹槽外部固定有挡板,且挡板与调节板之间垂直设置。本实用新型能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定,便于进行固定,提高了便捷性,而且能够根据不同大小的晶圆工件进行调节,提高了实用性。
技术领域
本实用新型涉及晶圆技术领域,尤其涉及一种用于玻璃晶圆的精雕装置。
背景技术
现有的晶圆进行精雕处理时,需要通过精雕机进行处理,传统的精雕机无法对不同大小的晶圆工件进行固定,容易在出现过程中出现偏移,影响精雕精度,为此,我们提出了一种用于玻璃晶圆的精雕装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于玻璃晶圆的精雕装置,包括精雕机本体,所述精雕机本体包括支撑板,支撑板的顶端侧壁固定有支撑柱,支撑柱远离支撑板的顶端侧壁固定有固定板,固定板的两端均开设有对称设置的第一凹槽,第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块,滑块之间固定有调节板,调节板与滑块之间垂直设置,所述调节板的顶端侧壁沿其长度方向开设有第一通孔,第一通孔的一侧侧壁沿其长度方向开设有多个齿条,所述调节板的一端延伸至第一凹槽外部固定有挡板,且挡板与调节板之间垂直设置,所述固定板的底端侧壁固定有对称设置的步进电机。
优选的,所述步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴,转轴远离步进电机的一端延伸至第一凹槽内部固定有齿轮,且齿轮与齿条之间啮合传动连接。
优选的,所述挡板的竖截面为长条形,且挡板相互靠近的一侧侧壁连接有海绵垫。
优选的,所述固定板的一侧侧壁连接有第一点动开关和第二点动开关。
优选的,所述步进电机的输入端通过导线分别与第一点动开关和第二点动开关连接。
优选的,所述固定板的竖截面为长条形,且固定板与支撑板之间平行设置。
本实用新型有益效果是:
1:通过设置的固定板、调节板、挡板以及海绵垫之间的配合,能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定,便于进行固定,提高了便捷性;
2:通过设置的第一点动开关、第二点动开关、转轴以及齿轮、齿条之间的配合,能够根据不同大小的晶圆工件进行调节,提高了实用性;
本实用新型能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定,便于进行固定,提高了便捷性,而且能够根据不同大小的晶圆工件进行调节,提高了实用性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置的A部分放大结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置的固定板内部结构俯视图。
图中:1精雕机本体、2支撑板、3支撑柱、4固定板、5第一凹槽、6滑块、7调节板、8第一通孔、9齿条、10步进电机、11转轴、12齿轮、13挡板、14海绵垫、15第一点动开关、16第二点动开关。
具体实施方式
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