[实用新型]一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置

说明书

本实用新型提供了一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置，用于解决现有技术中更换样品操作复杂、周期长、不适用于空气敏感型样品、测温不准确等技术问题，包括：样品托和样品台；其中，样品托包括托架、固定板、压片、热偶正极、热偶负极和热偶固定架；热偶正极和热偶负极的一端向样品方向延伸，另一端弯折形成热偶连接端；样品台包括定位槽、正极热偶插片、负极热偶插片和热偶插片固定架；定位槽设置为当样品托插入固定时，热偶连接端同时插入正极热偶插片和负极热偶插片；实施本实用新型的技术方案可实现样品的重复利用、以及提高温度检测精度、快速更换样品、降低装置成本的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及超高真空和精密测量领域，特别涉及一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置。

背景技术

在超高真空条件下测量样品的实际温度非常困难，现有技术中主要使用接触式与非接触式两类测温方式。

接触式测温通常有两种方法，其一是把热电偶点焊在样品上，但是该方法更换样品时需要破坏腔体的真空，操作复杂，成本高昂，并且更换周期长，工作效率低，并且该方法需要将样品长时间暴露在空气中，不适用于对于空气敏感的材料；其二是将样品固定在可传递型的样品托上，热偶固定在样品台上，更换样品台上的样品托即可更换样品，热偶通过样品台测量样品温度，该方法更换样品方便，但是热偶通过样品台温度推算样品温度，可靠性较低。

非接触式测温法又称红外线测温法，通过测量物体发出的热辐射来推算物体表面温度，但是该方法需要知道被测材料的发射率，但是大部分材料的发射率随温度变化大，并且要求红外测量装置与待测物体间无视窗法兰等遮蔽物，适用范围小。

因此需要一种适用范围广、易于更换样品、测温准确的超高真空测温装置。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型中披露了一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置，本实用新型的技术方案是这样实施的：

一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置，包括：样品托和样品台；其中，所述样品托包括托架、固定板、压片、热偶正极、热偶负极和热偶固定架；所述固定板可拆卸地固定于所述托架上，通过所述压片压紧样品，将样品固定于所述托架上；所述热偶正极和所述热偶负极的一端向样品方向延伸，另一端弯折形成热偶连接端；所述热偶固定架包括两个绝缘陶瓷片；所述样品台包括定位槽、正极热偶插片、负极热偶插片和热偶插片固定架；所述定位槽设置为当所述样品托插入固定时，所述热偶连接端同时插入所述正极热偶插片和所述负极热偶插片；所述热偶插片固定架将所述正极热偶插片和所述负极热偶插片固定于所述样品台上。

优选地，所述两个绝缘陶瓷片通过沉头螺丝和螺帽固定，压紧所述热偶正极和所述热偶负极。

优选地，所述托架设有下沉孔，所述固定板通过沉头螺丝固定于所述托架上。

优选地，所述热偶连接端呈三角形、矩形或圆形。

优选地，所述热偶插片固定架为陶瓷绝缘材料，所述热偶插片固定架设有螺孔，所述热偶插片经螺栓固定于所述热偶插片固定架上。

优选地，所述热偶正极和所述热偶负极向样品方向延伸的一端点焊于样品上。

优选地，所述托架的材料为耐高温金属材料，包括钽、钼或钨。

实施本实用新型的技术方案可解决现有技术中超高真空条件下测量样品的实际温度的方案更换样品操作复杂、周期长、不适用于空气敏感型样品、测温不准确的技术问题；实施本实用新型的技术方案，热电偶直接接触样品，检测精度高；热电偶与样品台上的正极热偶插片和负极热偶插片可拆卸式连接，操作便捷，利于更换和重复利用样品；样品可拆卸式固定在样品托上，样品托可重复利用，有效降低成本。

附图说明