[实用新型]硅铸锭热场结构有效
申请号: | 201920758907.2 | 申请日: | 2019-05-24 |
公开(公告)号: | CN210048879U | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 陈伟;陈志军;李林东;王全志;周硕 | 申请(专利权)人: | 阿特斯阳光电力集团有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 11415 北京博思佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 林祥 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 中心部 坩埚 本实用新型 两端部位置处 晶体缺陷 热场结构 温度分布 中心区域 边角处 两端部 热场 铸锭 发热 优化 | ||
1.一种硅铸锭热场结构,包括坩埚及围绕在坩埚四周的加热器,其特征在于,所述加热器具有中心部及位于中心部两端的端部,所述端部的厚度厚于所述中心部的厚度。
2.如权利要求1所述的硅铸锭热场结构,其特征在于,所述中心部和端部相互串联连接,且端部的厚度朝远离中心部的方向逐步变厚。
3.如权利要求2所述的硅铸锭热场结构,其特征在于,所述坩埚呈方向,其设有四个边角;所述加热器的端部位于所述坩埚的边角处。
4.如权利要求3所述的硅铸锭热场结构,其特征在于,所述端部具有平整的外壁面及倾斜的内壁面。
5.如权利要求4所述的硅铸锭热场结构,其特征在于,所述倾斜的内壁面自所述中心部位置处逐渐向内侧倾斜延伸而成。
6.如权利要求5所述的硅铸锭热场结构,其特征在于,所述加热器设有四个,其分别设置在所述坩埚的四个方向上,可从四个方向上对所述坩埚进行加热。
7.如权利要求6所述的硅铸锭热场结构,其特征在于,所述加热器与坩埚的外壁之间设有石墨护板,所述石墨护板围绕在所述坩埚的四个方向上。
8.如权利要求7所述的硅铸锭热场结构,其特征在于,所述坩埚的底部还设有散热平台。
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