[实用新型]一种多角度观测辅助装置

说明书

本实用新型公开了一种多角度观测辅助装置，包括底板（9）和固定在底板（9）上的X向导向块（1）、Y向导向块（3）和角度块（7）；产品载台（2）通过转轴及轴承（8）与X向导向块（1）和Y向导向块（3）滑动连接，小角度调节旋钮（4）通过小角度调节丝杆（5）与固定在底板（9）一侧的第一节丝杆安装座（6）连接，第一节丝杆安装座（6）与角度块（7）紧靠，大角度调节旋钮（12）通过大角度调节丝杆（11）与固定在底板（9）另一侧上方的第二节丝杆安装座（10）连接，从第二节丝杆安装座（10）伸出去的部分与产品载台（2）紧靠。本实用新型能够通过调节丝杆改变载台角度，实现多角度的观测，方便灵活，通用性强。

技术领域

本实用新型涉及石英晶片观察不同角度侧面形貌领域，尤其是涉及一种多角度观测辅助装置。

背景技术

石英晶体加工过程中，要判断wafer侧面形貌的，或者说看被观察物的切口/断口情况，传统的观察方法是固定的角度块配合显微镜来完成，所以无法适应产品角度的变化，使用不方便，不同角度要做不同的角度块，且需要频繁跟换，这种操作麻烦，灵活定差，角度块不便管理，且成本较高。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种多角度观测辅助装置，在底板上各安装一组X和Y方向的导向块，产品载台通过转轴及轴承安装在两组导向块的导向槽内，使载台在两组导向槽内可以移动，旋转固定在丝杠上的旋钮，丝杠通过固定的丝杆座，左右移动，丝杆前段作用在载台上，使载台角度发生变化，从而达到产品不同角度的观测，方便灵活，通用性强。大角度调节丝杆实现大角度调节，小角度调节丝杆通过固定在上面的角度块来实现小角度的调节。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种多角度观测辅助装置，包括底板和固定在底板上的X向导向块、Y向导向块和角度块；产品载台通过转轴及轴承与X向导向块和Y向导向块滑动连接，小角度调节旋钮通过小角度调节丝杆与固定在底板一侧的第一节丝杆安装座连接，第一节丝杆安装座与角度块紧靠，大角度调节旋钮通过大角度调节丝杆与固定在底板另一侧上方的第二节丝杆安装座连接，从第二节丝杆安装座伸出去的部分与产品载台紧靠。

进一步的，X向导向块和Y向导向块紧靠且呈90°角。

本实用新型的有益效果是：提供一种多角度观测辅助装置，在底板上各安装一组X和Y方向的导向块，产品载台通过转轴及轴承安装在两组导向块的导向槽内，使载台在两组导向槽内可以移动，旋转固定在丝杠上的旋钮，丝杠通过固定的丝杆座，左右移动，丝杆前段作用在载台上，使载台角度发生变化，从而达到产品不同角度的观测，方便灵活，通用性强。大角度调节丝杆实现大角度调节，小角度调节丝杆通过固定在上面的角度块来实现小角度的调节。

附图说明

图1为本实用新型结构图。

具体实施方式

下面结合附图进一步详细描述本实用新型的技术方案，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。

如图1所示，一种多角度观测辅助装置，包括底板9和固定在底板9上的X向导向块1、Y向导向块3和角度块7；产品载台2通过转轴及轴承8与X向导向块1和Y向导向块3滑动连接，小角度调节旋钮4通过小角度调节丝杆5与固定在底板9一侧的第一节丝杆安装座6连接，第一节丝杆安装座6与角度块7紧靠，大角度调节旋钮12通过大角度调节丝杆11与固定在底板9另一侧上方的第二节丝杆安装座10连接，从第二节丝杆安装座10伸出去的部分与产品载台2紧靠。

本实用新型所提出的一种多角度观测辅助装置，在底板上各安装一组X和Y方向的导向块，产品载台通过转轴及轴承安装在两组导向块的导向槽内，使载台在两组导向槽内可以移动，旋转固定在丝杠上的旋钮，丝杠通过固定的丝杆座，左右移动，丝杆前段作用在载台上，使载台角度发生变化，从而达到产品不同角度的观测，方便灵活，通用性强。大角度调节丝杆实现大角度调节，小角度调节丝杆通过固定在上面的角度块来实现小角度的调节。