[实用新型]一种应用于管式退火炉上的双真空系统

权利要求书

1.一种应用于管式退火炉上的双真空系统，与管式退火炉相对应，管式退火炉上设置有反应腔；其特征在于：包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；

反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。

2.根据权利要求1所述的一种应用于管式退火炉上的双真空系统，其特征在于：所述左真空系统包括安装在管式退火炉上的左机组支架组件、左高真空阀、左扩散泵、左系统阀、左预抽阀、左充气阀、左罗茨泵、左机械泵、左电磁充气阀；

其中左机组支架组件固定在地面支撑固定机组用；左真空系统的前端连通左高真空阀，左高真空阀两端分别连通左扩散泵、左预抽阀；左扩散泵另一端连接左系统阀；左预抽阀与左系统阀另一端的管路通过三通并联左罗茨泵，在并联的管路上装有左充气阀；左罗茨泵的另一端连接左电磁充气阀；左电磁充气阀另一端连接左机械泵。

3.根据权利要求1所述的一种应用于管式退火炉上的双真空系统，其特征在于：所述右真空系统包括安装在管式退火炉上的右机组支架组件、右高真空阀、右扩散泵、右系统阀、右预抽阀、右充气阀、右罗茨泵、右机械泵、右电磁充气阀；

其中右机组支架组件固定在地面支撑固定机组用；右真空系统的前端连通右高真空阀，右高真空阀两端分别连通右扩散泵、右预抽阀；右扩散泵另一端连接右系统阀；右预抽阀与右系统阀另一端的管路通过三通并联右罗茨泵，在并联的管路上装有右充气阀；右罗茨泵的另一端连接右电磁充气阀；右电磁充气阀另一端连接右机械泵。