[实用新型]一种多孔二氧化钛薄膜有效
| 申请号： | 201920716463.6 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN210560719U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;唐杰;罗军;庞盼;陈琳 | 申请（专利权）人： | 深圳南科超膜材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/32;C23C14/20;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 氧化 薄膜 | ||
1.一种多孔二氧化钛薄膜，包括基材(1)，其特征在于，所述基材(1)表面设有通过离子注入形成的表面改性层(2)，所述表面改性层(2)表面设有通过沉积形成的金属钛层(3)，所述金属钛层(3)表面附有多孔二氧化钛层(4)。
2.根据权利要求1所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，所述金属钛层(3)与高纯甲烷反应形成钛碳化合物层，所述钛碳化合物层与高纯氧气反应形成多孔二氧化钛层(4)。
3.根据权利要求2所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，所述金属钛层(3)与高纯甲烷于3×10-3Pa的真空环境下反应形成钛碳化合物层。
4.根据权利要求2所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，所述钛碳化合物层与高纯氧气于10-2Pa的真空环境下反应形成多孔二氧化钛层(4)。
5.根据权利要求2所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，所述钛碳化合物层的化学式为TiCX。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，离子注入所述表面改性层(2)的设备为金属蒸汽真空弧离子注入系统。
7.根据权利要求1-5中任一项所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，沉积所述金属钛层(3)采用的设备为磁过滤阴极真空弧设备。
8.根据权利要求1-5中任一项所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，所述基材(1)包括聚酯薄膜PET或聚乙烯薄膜PE。
9.根据权利要求1-5中任一项所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，所述金属钛层(3)的厚度为10～20nm。
10.根据权利要求1-5中任一项所述的一种多孔二氧化钛薄膜，其特征在于，所述多孔二氧化钛层(4)的厚度为300～500nm。
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