[实用新型]一种AF镀膜基材的表面清洁度检测装置有效

专利信息
申请号: 201920716061.6 申请日: 2019-05-17
公开(公告)号: CN210155036U 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 方福全;陈流敏 申请(专利权)人: 深圳怡钛积科技股份有限公司
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64
代理公司: 深圳市宾亚知识产权代理有限公司 44459 代理人: 黄磊
地址: 518000 广东省深圳市南山区同*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 af 镀膜 基材 表面 清洁 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,包括传送带、位移机构与检测机构;

所述传送带上等距传输有基材;

所述位移机构为位于传送带侧边的滑轨,所述位移机构包括相互滑移的X轴、Z轴两轴滑轨,定义所述传送带的运动方向为X轴、竖直方向为Z轴;

所述检测机构包括固定连接于Z轴的第一固定板,与垂直连接于所述第一固定板的第二固定板,所述第二固定板上安装有检测器。

2.根据权利要求1所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述位移机构还包括固定连接于第一固定板上的Y轴滑轨,所述第二固定板与Y轴相连。

3.根据权利要求1所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述检测器等距设有若干,且相邻两个所述检测器之间的距离与相邻基材的距离相同。

4.根据权利要求1所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述传送带末端设有剔除机构,所述剔除机构包括依次相连的旋转气缸、摆动臂与真空吸嘴。

5.根据权利要求3所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述传送带上等距设有隔栏,所述相邻检测器之间的距离等于相邻隔栏的距离。

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