[实用新型]一种AF镀膜基材的表面清洁度检测装置有效
申请号: | 201920716061.6 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN210155036U | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 方福全;陈流敏 | 申请(专利权)人: | 深圳怡钛积科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64 |
代理公司: | 深圳市宾亚知识产权代理有限公司 44459 | 代理人: | 黄磊 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区同*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 af 镀膜 基材 表面 清洁 检测 装置 | ||
1.一种AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,包括传送带、位移机构与检测机构;
所述传送带上等距传输有基材;
所述位移机构为位于传送带侧边的滑轨,所述位移机构包括相互滑移的X轴、Z轴两轴滑轨,定义所述传送带的运动方向为X轴、竖直方向为Z轴;
所述检测机构包括固定连接于Z轴的第一固定板,与垂直连接于所述第一固定板的第二固定板,所述第二固定板上安装有检测器。
2.根据权利要求1所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述位移机构还包括固定连接于第一固定板上的Y轴滑轨,所述第二固定板与Y轴相连。
3.根据权利要求1所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述检测器等距设有若干,且相邻两个所述检测器之间的距离与相邻基材的距离相同。
4.根据权利要求1所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述传送带末端设有剔除机构,所述剔除机构包括依次相连的旋转气缸、摆动臂与真空吸嘴。
5.根据权利要求3所述的AF镀膜基材的表面清洁度检测装置,其特征在于,所述传送带上等距设有隔栏,所述相邻检测器之间的距离等于相邻隔栏的距离。
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