[实用新型]一种芯片检测装置的平台有效

专利信息
申请号: 201920714349.X 申请日: 2019-05-18
公开(公告)号: CN210155263U 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 游诗勇;陈力 申请(专利权)人: 福建福顺半导体制造有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 350000 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 检测 装置 平台
【说明书】:

实用新型提供一种芯片检测装置的平台。所述芯片检测装置的平台,包括:支撑台和柱形槽;固定板,所述固定板通过连接板固定于所述支撑台的顶部的背面;旋转组件,所述旋转组件设置于所述支撑台上,所述旋转组件包括固定箱和放置盘;安装板,所述安装板固定于所述固定板的底部的中间;转动组件,所述转动组件设置与所述安装板的背面;放置槽,所述放置槽开设于所述放置盘的顶部;放置组件,所述放置组件设置于所述放置槽的内部;卡接组件,所述卡接组件设置于所述放置槽的内部且位于所述放置组件的一侧。本实用新型提供的芯片检测装置的平台具有通过一个电机即可实现对不同芯片的位置进行调整,极大的节省了能源,节能环保,且结构稳定。

技术领域

本实用新型涉及芯片领域,尤其涉及一种芯片检测装置的平台。

背景技术

集成电路,缩写作IC;或称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。

芯片在生产的过程中需要对其进行多项检测,其中芯片上一般会设置有缺口,缺口的朝向和位置,也是芯片很重要的一个技术指标,芯片检测装置在检测到芯片缺口方向指向如果反向后会进行调整,现有检测装置一般同时对多个芯片进行检测,通常会使用对应多个电机来进行芯片的旋转,浪费资源。

因此,有必要提供一种芯片检测装置的平台解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种芯片检测装置的平台,解决了现有检测装置一般同时对多个芯片进行检测,通常会使用对应多个电机来进行芯片的旋转,浪费资源的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供的芯片检测装置的平台,包括:支撑台和柱形槽;

固定板,所述固定板通过连接板固定于所述支撑台的顶部的背面;

旋转组件,所述旋转组件设置于所述支撑台上,所述旋转组件包括固定箱和放置盘;

安装板,所述安装板固定于所述固定板的底部的中间;

转动组件,所述转动组件设置与所述安装板的背面;

放置槽,所述放置槽开设于所述放置盘的顶部;

放置组件,所述放置组件设置于所述放置槽的内部;

卡接组件,所述卡接组件设置于所述放置槽的内部且位于所述放置组件的一侧。

优选的,所述固定箱的内部固定连接有第一伺服电机,所述第一伺服电机输出轴的一端通过联轴器固定连接有转动轴,所述转动轴的顶端依次贯穿所述固定箱和所述支撑台且延伸至所述支撑台的上方,所述转动轴的顶端与所述放置盘的底部固定连接。

优选的,所述转动组件包括液压缸,所述液压缸的底端通过固定件固定连接有第二伺服电机,所述第二伺服电机输出轴的一端固定连接有连接板,所述连接板底部的一侧固定连接有按压轴。

优选的,所述放置组件包括支撑轴,所述支撑轴的底端与所述柱形槽内表面的底部转动连接,所述支撑轴的顶部固定连接有放置块。

优选的,所述放置块顶部的中间开设有放置槽,所述放置块顶部的左右两侧均开设有限位孔。

优选的,所述卡接组件包括安装盒,所述安装盒内壁的左右两侧之间滑动连接有移动块,所述移动块的顶部固定连接有限位轴,所述移动块的底部通过弹性件与所述安装盒内壁的底部固顶连接。

优选的,所述安装板的正面固定安装有检测装置,所述放置盘的底部和支撑台的顶部均开设有环形凹槽,两个所述环形凹槽相对的一侧之间设置有滚珠。

与相关技术相比较,本实用新型提供的芯片检测装置的平台具有如下有益效果:

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