[实用新型]一种半导体设备的不间断储水装置及半导体设备

说明书

本实用新型提出一种半导体设备的不间断储水装置，包括：不间断输水单元；储水单元，所述储水单元连接所述不间断输水单元，所述不间断输水单元与所述储水单元之间设置有调节组件，所述储水单元包括多个容器及抽水装置，其中，所述抽水装置连接所述多个容器。本实用新型提出的半导体设备的不间断储水装置设计合理，结构简单。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，特别涉及一种半导体设备的不间断储水装置及半导体设备。

背景技术

半导体在制造过程中会面临着很多困难，例如离子污染，环境污染引起的晶圆污染，离子污染是半导体制造工艺和成品器件面临的挑战，因为少量污染物就会引起晶圆或最终的个体电子组件出现腐蚀、侵蚀、电迁移和器件短路。

离子色谱是一种高效的分析技术，可以快速测定半导体行业中多种工艺污染物的痕量成分和主要成分。该技术便于定量分析常见的无机阴离子和阳离子、特定的有机添加剂、过渡金属、多价离子和有机络合剂。采用在线离子色谱过程监测时，可以在万亿分之一的极低水平上快速测定这些成分，便于立即采取补救措施。

半导体制造业离不开超纯水，超纯水中的污染物可能使正常的掺杂分布图失真，形成反型层或引起短路，或者引起其他的电路故障，因此保持超纯水不被污染是至关重要的。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的问题，本实用新型提出一种半导体设备的不间断储水装置，所述不间断储水装置能够实现实时补水，不需要停机补水，有效减少了外界因素对超纯水的影响，同时也减少了工作人员的工作负担。

为实现上述目的或其他目的，本实用新型提出一种半导体设备的不间断储水装置，包括：

不间断输水单元；

储水单元，所述储水单元连接所述不简单输水单元，所述不简单输水单元与所述储水单元之间设置有调节组件，所述储水单元包括多个容器及抽水装置，其中，所述抽水装置连接所述多个容器。

在一实施例中，所述不间断输水单元通过分流器连接所述储水单元，所述调节组件设置在所述分流器与所述不间断输水单元之间。

在一实施例中，所述多个容器之间通过分流器连接。

在一实施例中，所述储水单元包括第一容器，第二容器及第三容器，所述第一容器连接清洗瓶。

在一实施例中，所述清洗瓶包括第一部分及第二部分，所述第一部分设置在所述第二部分内，所述第二部分连接收集槽。

在一实施例中，所述第二容器连接多个第一抽水装置，所述第二容器通过所述分流器连接所述多个第一抽水装置。

在一实施例中，所述第三容器连接多个第二抽水装置，所述第三容器通过所述所述分流器连接所述多个第二抽水装置。

在一实施例中，所述调节组件包括调压阀和/或流量控制器。

在一实施例中，所述分流器包括三通阀。

本实用新型还提出一种半导体设备，包括不间断储水装置、送样装置、检测装置和数据采集装置，所述不间断储水装置、送样装置、检测装置和数据采集装置依次连接。

本实用新型提出一种半导体设备的不间断储水装置，通过将储水单元与不间断输水单元连接起来，能够对半导体设备实现不间断的补水，有效杜绝了外界因素对超纯水的影响，提高了检测结果的准确性，同时也减少了工作人员的工作负担。

附图说明

图1：本实施例提出的一种半导体设备的不间断储水装置的连接示意图。

图2：分流器的结构示意图。

图3：清洗瓶的结构示意图。

图4：本实施例提出的半导体设备结构的简要示意图。