[实用新型]OLED蒸镀制程用精密金属遮罩有效
| 申请号： | 201920703417.2 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN210163514U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋国忠;宋荣华;高远;王志安 | 申请（专利权）人： | 江西联创致光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 黄新平 |
| 地址： | 330029 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 蒸镀制程用 精密 金属 | ||
【权利要求书】：
1.一种OLED蒸镀制程用精密金属遮罩，包括遮罩本体，遮罩本体由遮罩本体无效区（1）和遮罩本体有效孔洞开口区（2）组成，遮罩本体有效孔洞开口区（2）内部开有基准孔洞（21），其特征在于：遮罩本体有效孔洞开口区外层孔洞（23）的孔径小于基准孔洞（21），有效孔洞开口区外层孔洞（23）的孔径为基准孔洞的25%~50%。
2.一种OLED蒸镀制程用精密金属遮罩，包括遮罩本体，遮罩本体由遮罩本体无效区（1）和遮罩本体有效孔洞开口区（2）组成，遮罩本体有效孔洞开口区（2）内部开有基准孔洞（21），其特征在于：遮罩本体有效孔洞开口区外层孔洞（23）及有效孔洞开口区次外层孔洞（22）的孔径小于基准孔洞（21），有效孔洞开口区外层孔洞（23）的孔径为基准孔洞的25%~50%，有效孔洞开口区次外层孔洞（22）的孔径为基准孔洞（21）的50%~75%。
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