[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔

说明书

本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔，涉及半导体行业废气处理技术领域，包括与车间废气处理设备水箱连接用的连接管，所述连接管上端卡箍连接水洗塔，所述水洗塔上设有数个水管连接头，本实用新型通过设置上层水洗塔、中层水洗塔、下层水洗塔，使得本装置拆卸、维护更加方便，通过设置溢流装置，给溢流装置通过设置上的水管连接车间自来水源，自来水进入溢流腔，随溢流口流入下连接件、中层水洗塔和下层水洗塔的内壁，从而对有污垢的塔壁进行水洗，通过在上层水洗塔上设置新风组合件，使得对上层水洗塔进行通风，减少了出口水气过多。

技术领域

本实用新型涉及半导体废气处理技术领域，具体涉及一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔。

背景技术

用于半导体制造工艺产生的气体具有强烈的特性，例如毒性、燃烧性、和腐蚀，直接排放到大气中不符合排放标准，需要各车间先进行废气处理后再通过总厂的排放系统排放，废气处理一般会先燃烧再经过水洗塔洗涤降温，但是现有的水洗塔厚重不方便维护、水洗塔壁易有污垢，无法自动脱落且其出口水气过多，因此需要做进一步改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔，以解决现有技术中水洗塔厚重不方便维护、塔壁易有污垢，无法自动脱落且其出口水气过多的缺陷。

一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔，包括与车间废气处理设备水箱连接用的连接管，所述连接管上端卡箍连接水洗塔，所述水洗塔上设有数个水管连接头，所述水管连接头均连接车间的废气处理设备水箱，所述水洗塔上端卡箍连接有能清洁水洗塔塔壁污垢的溢流装置，所述溢流装置上端卡箍连接上层水洗塔。

优选的，所述溢流装置包括直径相同的上连接件和下连接件，所述上连接件和下连接件外套接溢流腔且其端面之间设有溢流口，所述溢流腔上连接有水管，所述上连接件上端卡箍连接上层水洗塔下端，所述下连接件下端卡箍连接水洗塔上端。

优选的，所述水洗塔包括卡箍连接的下层水洗塔和中层水洗塔。

优选的，所述上层水洗塔上设有套筒，所述套筒外端口设有连接件一，所述连接件一上安装有给上层水洗塔通风的新风组合件。

优选的，所述新风组合件包括与连接件一螺钉连接的连接件二，所述连接件二外设有四个沿其轴线呈环形排列的支撑柱，所述支撑柱另一端连接底板，所述底板上设有安装板和气缸，所述气缸的活塞杆末端穿过底板并连接通风件，所述通风件套于连接件二、连接件一和套筒内，所述通风件上设有数个进风孔。

本实用新型的优点在于：本实用新型通过设置上层水洗塔、中层水洗塔、下层水洗塔，使得本装置拆卸、维护更加方便，通过设置溢流装置，给溢流装置通过设置上的水管连接车间自来水源，自来水进入溢流腔，随溢流口流入下连接件、中层水洗塔和下层水洗塔的内壁，从而对有污垢的塔壁进行水洗，通过在上层水洗塔上设置新风组合件，使得对上层水洗塔进行通风，减少了出口水气过多。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中溢流装置的结构示意图。

图3为本实用新型中组成溢流装置的零件结构示意图。

图4为本实用新型中上层水洗塔的结构示意图。

图5为本实用新型中新风组合件的结构示意图。

图6为本实用新型中的通风件的结构示意图。

其中，1-连接管，2-水洗塔，3-水管连接头，4-溢流装置，5-上层水洗塔，6-上连接件，7-下连接件，8-溢流腔，9-溢流口，10-水管，11-下层水洗塔，12-中层水洗塔，13-套筒，14-连接件一，15-新风组合件，16-连接件二，17-支撑柱，18-底板，19-安装板，20-气缸，21-通风件，22-进风孔。