[实用新型]一种基板层偏对位测试条有效
| 申请号： | 201920689840.1 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN210222194U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 伍永友;李铢元;包旭升 | 申请（专利权）人： | 星科金朋半导体（江阴）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01B21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214434 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基板层偏 对位 测试 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板层偏对位测试条，其特征在于，其包括起始线、超规格判定线、终止线、若干个基板层偏对位测试单元，所述起始线、终止线均与超规格判定线平行设置，所述基板层偏对位测试单元数个在X方向排成一列整齐设置在起始线与终止线之间，且等宽等间距分布，所述基板层偏对位测试单元头部设置基板层偏对位判定标志，所述基板层偏对位判定标志与终止线对齐，且止于所述终止线之内，所述起始线与超规格判定线间距限定超规格判定线长度C，其Y方向的长度沿X方向呈等差递减设置。
2.根据权利要求1所述的基板层偏对位测试条，其特征在于，所述基板层偏对位判定标志呈U形、锯齿形、弧形或阶梯形。
3.根据权利要求1或2所述的基板层偏对位测试条，其特征在于，所述基板层偏对位判定标志为等间距锯齿。
4.根据权利要求1或2所述的基板层偏对位测试条，其特征在于，所述基板层偏对位判定标志为不等间距锯齿。
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