[实用新型]一种真空及气体模拟环境测试腔

说明书

本实用新型公开了一种真空及气体模拟环境测试腔，包括腔体和盖体，所述盖体位于腔体上端，所述腔体上端开设有腔体入口，所述腔体入口外侧环设有延伸环体，所述延伸环体位于腔体上端并与腔体固定焊接，所述延伸环体与腔体入口之间设有一号凹槽，所述盖体下表面凸出设有密封垫圈，所述盖体通过密封垫圈与一号凹槽密封插接。本实用新型通过在腔体上端设有一号凹槽，并将盖体通过密封垫圈与一号凹槽连接，增加盖体与腔体连接的密封性，同时延伸环体内壁的充气囊充气膨胀后与盖体侧壁上嵌设的二号凹槽连接，进一步增加了盖体与腔体连接的密封性，密封效果好，通过将盖体利用金属环和电磁铁与腔体入口吸附连接，操作简单，且连接紧密。

技术领域

本实用新型涉及气体模拟环境测试相关技术领域，具体为一种真空及气体模拟环境测试腔。

背景技术

真空及气体模拟环境测试腔是指在真空环境下或者其他特殊气体环境下对半导体元器件或者一些新材料的电流和电压等特性进行测试，以便于后续研究。

但是，现有的真空及气体模拟环境测试腔存在以下缺点：

1、盖体和腔体之间连接方式结复杂，且盖体和腔体之间连接的密封性不佳，从而导致腔体整体的密封效果不好，影响元器件的测试精准性。

2、没有相应的观察窗口，不便于实时观察元器件的情况，且一些具备观察窗口的，不能随时对观察窗口两侧表面进行清洁，从而导致灰尘粘连，影响观察效果。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种真空及气体模拟环境测试腔，以解决上述背景技术中提到的盖体和腔体之间连接方式结复杂，且盖体和腔体之间连接的密封性不佳，从而导致腔体整体的密封效果不好，影响元器件的测试精准性，没有相应的观察窗口，不便于实时观察元器件的情况，且一些具备观察窗口的，不能随时对观察窗口两侧表面进行清洁，从而导致灰尘粘连，影响观察效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空及气体模拟环境测试腔，包括腔体和盖体，所述盖体位于腔体上端，所述腔体上端开设有腔体入口，所述腔体入口外侧环设有延伸环体，所述延伸环体位于腔体上端并与腔体固定焊接，所述延伸环体与腔体入口之间设有一号凹槽，所述盖体下表面凸出设有密封垫圈，所述盖体通过密封垫圈与一号凹槽密封插接，所述盖体侧壁上环设有二号凹槽，所述延伸环体内壁上环设有充气囊，所述充气囊膨胀位于二号凹槽内，所述盖体下表面设有金属环，所述金属环位于密封垫圈一侧，且金属环与腔体入口上端设有的电磁铁吸附连接。

优选的，所述腔体一侧壁上安装有充抽气泵，所述充抽气泵一侧连接有充气管和抽气管，所述充气管和抽气管分别与充气囊的进气口和出气口连接。

优选的，所述腔体一侧壁上设有玻璃观察窗口，所述玻璃观察窗口两侧分别设有一号清洁板和二号清洁板，所述二号清洁板位于腔体内部。

优选的，所述一号清洁板上设有清洁棉，所述清洁棉与一号清洁板之间设有磁铁片，所述二号清洁板与一号清洁板结构相同，且一号清洁板与二号清洁板相互吸附。

优选的，所述一号凹槽呈环形设置，且一号凹槽嵌设在腔体上端。

优选的，所述盖体上端设有把手，所述把手设有两组，且把手均与盖体固定连接。

优选的，所述腔体下端连接有支柱，所述支柱与腔体固定连接，且支柱底端固定连接有底座。

本实用新型提供了一种真空及气体模拟环境测试腔，具备以下有益效果：

（1）本实用新型通过在腔体上端设有一号凹槽，并将盖体通过密封垫圈与一号凹槽连接，增加盖体与腔体连接的密封性，同时延伸环体内壁的充气囊充气膨胀后与盖体侧壁上嵌设的二号凹槽连接，进一步增加了盖体与腔体连接的密封性，密封效果好，便于使用。