[实用新型]一种金属介质组合中性分光膜的分光镜有效

专利信息
申请号: 201920666813.2 申请日: 2019-05-10
公开(公告)号: CN210222375U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 卢志坚 申请(专利权)人: 中山晶通光学技术有限公司
主分类号: G02B27/10 分类号: G02B27/10
代理公司: 广东高端专利代理事务所(特殊普通合伙) 44346 代理人: 宁凯
地址: 528400 广东省中山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属 介质 组合 中性 分光 分光镜
【说明书】:

本实用新型涉及一种金属介质组合中性分光膜的分光镜,包括透光材料的基底,所述基底上依次镀有全介质膜、金属膜,所述全介质膜为五氧化三钛、所述金属膜为铬,通过在透光材料的基底上镀全介质膜、金属膜,使分光镜具有全介质膜的损耗小,分光效率高,又具有金属膜的光中性好、偏振小的特点,其结构简单,制作镀膜简便、成本低,功能突出。

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜技术领域,尤其涉及一种金属介质组合中性分光膜的分光镜。

背景技术

在双目观察系统的光学仪器上(例如:双目显微镜)或者需要在光路中将一束入射光分为两路能量相等的两束中性光的场合,都会用到分光镜,通过在光学镜片分光面上镀分光膜来实现分光目的的。分光膜通常有两种类型:金属分光膜和介质分光膜。金属分光膜的缺点是吸收损失较大,分光效率较低。如果入射光的能量为100%的话,反射能量与透射能量相加:R+T=60%,能量损耗40%,这是金属膜的吸收造成的。介质分光膜的吸收小到可以忽略的程度,分光效率高,介质分光膜的反射率与透射率相加几乎与入射光相等。但是,介质膜材料对波长较敏感,给中性分光带来困难(分光光谱不易平坦),而且,一般介质分光镜的偏振效应较大,对一些要求偏振效应小的场合来说,它不适用,即使对于一些多层介质的分光膜分光镜,其偏振虽然能一定程度减弱,但只能在可见光很小的波长范围内实现,并且分光光谱仍然不平坦,偏色严重。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种金属介质组合中性分光膜的分光镜,其分光效果好,分光后能量损失小、光中性好、偏振小同时结构简单、成本低。

本实用新型所采用的技术方案是:一种金属介质组合中性分光膜的分光镜,包括透光材料的基底,所述基底上依次镀有全介质膜、金属膜,所述全介质膜为五氧化三钛、所述金属膜为铬。

其中,所述全介质膜的光学厚度为可见光区中心波长的1/4。

其中,所述基底为玻璃。

其中,所述全介质膜物理厚度为57.65nm,所述金属膜物理厚度为3.75nm。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点:一种金属介质组合中性分光膜的分光镜,通过在透光材料的基底上镀全介质膜、金属膜,使分光镜具有全介质膜的损耗小,分光效率高,又具有金属膜的光中性好、偏振小的特点,其结构简单,制作镀膜简便、成本低,功能突出。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是单层铬的反射和透射率曲线图。

图3是铬-五氧化三钛的金属介质膜反射和透射率曲线图。

图4是单层铬分光膜的中性比较颜色图。

图5是铬-五氧化三钛的金属介质膜的中性比较颜色图。

图6是多层介质棱镜中性分光膜偏振效应曲线图。

图7是铬-五氧化三钛的棱镜金属介质中性分光膜偏振效应曲线图。

图中标号所示为1-基底、2-全介质膜、3-金属膜。

具体实施方式:

为加深本实用新型的理解,下面将结合实施案例和附图对本实用新型作进一步详述。本实用新型可通过如下方式实施:

参见图1中所示的一种金属介质组合中性分光膜的分光镜,包括透光材料的基底1,所述基底1上依次镀有全介质膜2、金属膜3,所述全介质膜2为五氧化三钛、所述金属膜3为铬。

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