[实用新型]一种低摩擦阻力旋转涂层载盘

说明书

本实用新型公开了一种低摩擦阻力旋转涂层载盘，包括：承载组件，包括分别上下布置的上承载盘、下承载盘，上承载盘、下承载盘各自呈水平布置；转动组件：包括设置在上承载盘、下承载盘之间的棘轮，棘轮通过同心的转轴垂直连接上承载盘、下承载盘，在棘轮与下承载盘之间安装石墨垫圈，石墨垫圈套在转轴上，棘轮由拨叉拨动实现绕自身轴线的转动；同一个转轴上穿套的石墨垫圈至少为两个，相邻的石墨垫圈之间还接触有铜垫圈，棘轮与上承载盘之间均在间隙。采用此实用新型降低转轴和下承载盘间的摩擦系数，使旋转过程顺畅，不会因转动过程中摩擦力过大产生碎屑和粉尘，产品的涂层均匀性和外观良率得到进一步提升。铜垫圈可以作为支撑。

技术领域

本实用新型涉及表面处理设备领域，具体涉及一种低摩擦阻力旋转涂层载盘。

背景技术

随着工业技术的进步和国家对节能减排的要求，许多零部件都用到了PVD涂层处理用于增加耐磨性和减少能耗。PVD涂层具有硬度高、厚度薄、摩擦系数低等许多优良的物理特性，在车用发动机、压缩机、模具、工具领域发挥着越来越重要的作用。涂层过程会涉及到工件的装夹，根据工件的几何尺寸和工艺要求的不同，被分为一维二维和三维旋转。其中涂层大盘在马达带动下做自转为一维旋转，随大盘公转并由齿轮带动自转的涂层芯杆为二维旋转，安装在芯杆上采用拨叉拨动的棘轮杆为三维旋转。采用三维旋转的工件涂层均匀性良好，装炉量大，尤其适合形状复杂且要求多面涂层的工件。

三维旋转时棘轮杆是穿过承载盘片上的圆孔并坐落在盘片上，杆的底部与盘片之间直接摩擦。在承受载荷的情况下摩擦力变大，会出现转动不顺畅的现象，严重时会导致涂层制程中异常放电。转动过程中的摩擦也会产生一些细微碎屑或粉尘，直接落在下一层工件的上端面上，造成一定比例的外观不良。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题在于提供一种低摩擦阻力旋转涂层载盘，降低转轴和下承载盘间的摩擦系数，使旋转过程顺畅，不会因转动过程中摩擦力过大产生碎屑和粉尘，产品的涂层均匀性和外观良率得到进一步提升。铜垫圈可以作为支撑。

为解决上述问题，本实用新型提供一种低摩擦阻力旋转涂层载盘，为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种低摩擦阻力旋转涂层载盘，包括：承载组件，包括分别上下布置的上承载盘、下承载盘，上承载盘、下承载盘各自呈水平布置；转动组件：包括设置在上承载盘、下承载盘之间的棘轮，棘轮通过同心的转轴垂直连接上承载盘、下承载盘，在棘轮与下承载盘之间安装石墨垫圈，石墨垫圈套在转轴上，棘轮由拨叉拨动实现绕自身轴线的转动；同一个转轴上穿套的石墨垫圈至少为两个，相邻的石墨垫圈之间还接触有铜垫圈，棘轮与上承载盘之间均在间隙。

采用上述技术方案的有益效果是：石墨垫圈的使用可以有效降低转轴和下承载盘间的摩擦系数，使旋转过程顺畅，不会因转动过程中摩擦力过大产生碎屑和粉尘，产品的涂层均匀性和外观良率得到进一步提升。因摩擦阻力降低，治具的摩擦损耗减少，有效增加了治具的使用寿命。采用石墨垫圈作为棘轮与下载盘片之间的摩擦介质，避免金属与金属之间的直接摩擦。石墨具有片状晶体结构，润滑性能良好.耐磨、耐压性好。铜垫圈的自身结构强度大，铜垫圈可以作为支撑，防止石墨垫圈受力不均而局部磨损或断裂，铜与石墨的搭配，无需加润滑油，具有承载能力高，耐冲击，耐高温，自润滑能力强等特点，特别适用于重载，低速的工况。

作为本实用新型的进一步改进，上承载盘、下承载盘之间通过螺栓固定，上承载盘、下承载盘之间具备若干个棘轮且呈环形阵列，棘轮环形阵列的中心点位于上承载盘、下承载盘的自身轴线上。

采用上述技术方案的有益效果是：螺栓限定上承载盘、下承载盘的相对位置，防止棘轮杆晃动，棘轮呈环形阵列以保证拨动过程中的连续性和稳定性。

作为本实用新型的更进一步改进，转轴凸出于上承载盘的上表面，转轴在上承载盘上方还具备垂直于自身轴线的台阶面。