[实用新型]一种开尔文连接电路的测试电路

说明书

本实用新型提供一种开尔文连接电路的测试电路，测试电路包括：N路电路臂，N的值与被测器件端口数量对应；每路电路臂由两路子电路构成，所述两路子电路的连接端分别与被测器件的同一端口连接，另一端为开放端；所述两路子电路的开放端分别对应为开尔文连接电路的驱动端和感测端；所述两路子电路上的等效电阻分别为驱动端等效电阻、感测端等效电阻；所述N路电路臂对应N路开尔文连接电路；至少一电流恒流源、电压表，所述电流恒流源、电压表至少两次连接到不同所述开放端，获得至少两次电压值，以检测与被测器件的连接性，和/或计算所述等效电阻。在测试设备只使用必要的测试引线与被测器件连接的前提下，实现上述检测。

技术领域

本发明涉及电路测试技术领域，特别是一种开尔文连接电路的测试电路。

背景技术

使用开尔文连接进行测试在半导体测试领域是十分重要的测试方法，它避免了驱动电流在导线上产生的压降，使测量和驱动电压在被测器件上相对精确。

开尔文连接是否正确、高质量会对测试产生影响，尤其是对大功率分立式半导体器件的测试。由于大功率分立式半导体器件的电压电流测试条件相对较高，如果开尔文连接不正确会导致输出电压电流不正确甚至损坏被测器件；如果开尔文连接质量低，例如线上寄生电阻、测试夹具接触电阻过大等，在大电流测试条件下上述电阻也会影响输出电压电流的正确性，甚是损坏测试夹具。

现有技术对大功率分立式半导体器件的开尔文连接检测方法如图1所示，以被测器件为二极管为例，图中电阻Ra_sence表示A_Sence端口输出到被测器件阳极的引线电阻和夹具接触电阻的总和，电阻Ra_Force表示A_Force端口输出到被测器件阳极的引线电阻和夹具接触电阻的总和。图中标注的其他电阻同理。以测试阳极两端口(A_Force、A_Sence)的开尔文连接为例(阴极C_Sence、C_Force的测试同理)，目前的测试方法为使用测试电路(板卡)内部的小电流恒流源Is，对A_Force端口与A_Sence端口之间恒流，电压表测量A_Sence线与A_Sence线之间的电压Vm，得到两端口的电阻总和Ra_sence+Ra_Force，并且能够检测A_Force端口与A_Sence端口是否连接上。

如图2所示，以被测器件为mos管为例(其他场效应管、三极管等三端器件同理)，Rd_sence表示D_Sence端口输出到被测器件漏端的引线电阻和夹具接触电阻的总和，Rd_Force表示D_Force端口输出到被测器件漏端的引线电阻和夹具接触电阻的总和。图中标注的其他电阻同理。以测试漏端的开尔文连接为例(栅端、源端测试同理)，目前的测试方法为使用测试电路(板卡)内部的小电流恒流源Is，对D_Force端口与D_Sence端口之间恒流，电压表测量D_Force端口与D_Sence端口之间的电压Vm，得到线上电阻总和Rd_sence+Rd_Force，并且能够检测D_Force端口与D_Sence端口是否连接上。

上述检测开尔文连接的方法不足在于：在测试电路只使用必要的测试引线与被测器件连接的前提下，仅能检测A_Force端口与A_Sence端口(或D_Force端口与D_Sence端口)是否连接，无法检测连接后是否与被测器件连接。再者，仅能测量电阻Ra_sence+Ra_Force(或电阻Rd_sence+Rd_Force)的阻值，实际上A_Force端口(或D_Force端口)上需要承载大电流，对A_Force端口(或D_Force端口)上电阻及接触电阻敏感。而上述方法不能单独测量A_Force端口(或D_Force端口)上的电阻Ra_Force(或Rd_sence)。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种开尔文连接电路的测试电路及测试方法，在测试设备只使用必要的测试引线与被测器件连接的前提下，实现对于开尔文电路的感测端和驱动端连接后是否与被测器件连接，以及单独获取驱动端上的等效电阻。

所述基于开尔文连接电路的测试电路包括：

N路电路臂，N的值与被测器件端口数量对应；