[实用新型]一种新型移动式锗单晶炉检漏装置

说明书

本实用新型公开了一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，包括移动机构、检测机构和警报灯，环形检测加持器的内环尺寸与单晶炉炉体的直径相匹配，通过电机动力输出端的齿轮转动带动整个电驱主动位移件沿着限位杆的方向上下移动，从单晶炉的炉顶开始向炉底的方向移动，对整个单晶炉进行环形扫描式检测，硅敏感片环形设置，硅敏感片的移动轨迹形成筒型的检测面，实现漏硅蒸汽的全方位检测，无死角，硅敏感片与警报灯电性连接，当硅敏感片感应到泄漏的硅蒸汽时，触发硅敏感片的警报系统触发，警报灯闪烁提醒工作人员进行维修，工作人员只需进行单次操作即可实现单晶炉炉体的整体检测，减少工作人员的工作量，提高检测效率。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉检漏技术领域，具体为一种新型移动式锗单晶炉检漏装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在现有的石墨加热器加热过程中，常常发生由于炉体密封性差二导致的多晶硅等多晶材料泄漏事故，由于硅蒸汽的泄漏无色，工作人员无法及时察觉，所以需要工作人员定期对炉体进行检查，现有的单晶炉检漏装置大多为手持式或者定点检查装置，由工作人员手持检测装置对炉体进行检查，或者定点对易泄漏的位置进行检查，死角多，检测范围不够大，增加了工作人员的工作量，无法及时检查，热场损失高，硅料损耗大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，具备实现漏硅蒸汽的全方位检测，无死角，工作人员只需进行单次操作即可实现单晶炉炉体的整体检测，减少工作人员的工作量，提高检测效率的优点，可以解决现有技术中死角多，检测范围不够大，增加了工作人员的工作量，无法及时检查，热场损失高，硅料损耗大的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，包括移动机构、检测机构和警报灯，移动机构与检测机构固定连接，移动机构包括底部移动轮、同步支底座、限位杆、L型圆弧套板、定位螺母和电驱主动位移件，底部移动轮活动安装在同步支底座的底部，同步支底座的上表面通过法兰固定安装限位杆，限位杆上设有限位螺纹孔，限位螺纹孔的数量与定位螺母的数量相匹配，定位螺母活动安装在L型圆弧套板的外壁上，L型圆弧套板与电驱主动位移件的外壁固定连接，电驱主动位移件包括电驱位移桩、U型平衡架、电机和弧形保持架，电驱位移桩的外壁固定安装U 型平衡架，U型平衡架与L型圆弧套板固定连接，电驱位移桩套接在限位杆的外侧，电驱位移桩的右侧安装电机，电机的左端部为动力输出端，电机的右端部与弧形保持架的一端固定连接，弧形保持架套接在检测机构的外侧；

检测机构包括环形检测加持器、硅敏感片、安装块和定位孔，环形检测加持器的内壁上固定安装环形设置的硅敏感片，硅敏感片与警报灯电性连接，环形检测加持器的外壁固定安装两组对称设置的安装块，安装块的内部设有三组等距的定位孔，定位孔与定位螺母的位置相匹配。

优选的，所述限位杆的右侧面设有轮齿，电机的动力输出端通过锥形齿轮与限位杆的表面轮齿啮合。

优选的，所述警报灯固定安装在电驱位移桩的正面外壁上。

优选的，所述移动机构设有两组，两组移动机构对称安装在环形检测加持器的两侧。

优选的，两组所述移动机构之间通过弧形保持架固定连接，弧形保持架与环形检测加持器的外壁接触连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：