[实用新型]一种带材连续式真空等离子体镀膜系统

权利要求书

1.一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：包括真空镀膜室、抽真空系统、收放卷装置和驱动装置；收放卷装置包括放卷室和收卷室；放卷室和收卷室分别连通设置于所述真空镀膜室的两端；抽真空系统通过真空连接通道分别与放卷室和收卷室连通，通过抽真空系统对真空镀膜室抽真空；真空镀膜室的外侧至少一侧均匀分布有若干阴极靶；阴极靶间隔之间设置有若干进气管；放卷室和收卷室内部分别设置有放卷涨缩头和收卷涨缩头，带材缠绕在放卷涨缩头上，带材的端部穿入所述真空镀膜室连接到收卷涨缩头；所述放卷涨缩头和收卷涨缩头分别通过磁流体密封装置与所述驱动装置连接；放卷室和收卷室内部侧壁上分别设有加热装置，通过加热装置对带材加热后，带材在所述真空镀膜室内通过所述阴极靶向带材上溅射金属离子，气体通过进气管流入真空镀膜室后与金属离子发生作用沉积在带材表面，实现带材真空等离子镀膜。

2.根据权利要求1所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述真空镀膜室为弧形或椭圆形或长方形结构；所述真空镀膜室的外侧两侧面均匀分布有若干阴极靶，可以对带材进行双面溅射金属离子或单面溅射金属离子的真空等离子体镀膜。

3.根据权利要求2所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述真空镀膜室内部的前后两端以及中部安装有若干导带辊；带材依次穿过导带辊，通过导带辊传递带材；带材放置在导带辊上防止带材的工作面被刮伤。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述抽真空系统包括至少两个抽真空装置；所述抽真空装置安装在抽真空系统底座上。

5.根据权利要求4所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述抽真空系统包括第一抽真空装置和第二抽真空装置；第一抽真空装置与所述放卷室连接；第二抽真空装置与所述收卷室连接；第一抽真空装置和第二抽真空装置分别对所述放卷室和放卷室抽真空。

6.根据权利要求5所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述真空连接通道上设有旋转调节挡板阀，所述旋转调节挡板阀用于调节所述第一抽真空装置和第二抽真空装置对所述放卷室和收卷室抽真空的速率。

7.根据权利要求1所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述放卷室和所述收卷室的顶部分别设有真空规管，所述真空规管用于测量所述放卷室和收卷室以及真空镀膜室的真空度。

8.根据权利要求1所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述加热装置为加热管；所述加热管分别等距离设置于放卷室和收卷室内；所述放卷室和收卷室分别安装在放卷室底座和收卷室底座上；通过加热管对带材加热后，带材在所述真空镀膜室内通过所述阴极靶向带材溅射金属离子，气体通过进气管流入真空镀膜室后与金属离子发生作用沉积在带材表面，实现带材真空等离子镀膜。

9.根据权利要求1所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述驱动装置包括减速机和驱动电机；减速机的一端与驱动电机连接，另一端通过所述磁流体密封装置内部的磁流体分别与所述放卷涨缩头和收卷涨缩头密封连接；减速器用于调节所述放卷涨缩头和收卷涨缩头的速率。

10.根据权利要求5-7任意一项所述的一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：所述放卷室通过放卷室炉门铰链安装有放卷室炉门；所述收卷室通过收卷室炉门铰链安装有收卷室炉门；放卷室炉门和收卷室炉门上分别设有放卷室观察窗和收卷室观察窗；工作人员通过放卷室观察窗和收卷室观察窗查看真空镀膜室内带材的镀膜情况。