[实用新型]一种石英舟防砸保护系统有效
| 申请号: | 201920638232.8 | 申请日: | 2019-05-06 |
| 公开(公告)号: | CN209675260U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
| 发明(设计)人: | 匡露;彭松;张建国 | 申请(专利权)人: | 镇江大全太阳能有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 32207 南京知识律师事务所 | 代理人: | 李湘群<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址: | 212200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石英舟 光纤感应器 位移传感器 金属 本实用新型 传送装置 到位信号 金属部件 可检测 机械抓手 防砸 扩散 配合 | ||
本实用新型公开了一种石英舟防砸保护系统,包括石英舟和传送装置,所述石英舟的前侧设有金属部件,所述石英舟由所述传送装置输送到位;其特征在于:还包括光纤感应器和金属位移传感器,所述光纤感应器设置在所述石英舟到位时的后侧,所述金属位移传感器设置在所述石英舟到位时的前侧;当所述石英舟到位时,所述光纤感应器可检测到所述石英舟的尾部,发出石英舟已到位信号;所述金属位移传感器可检测到所述石英舟前侧的金属部件,发出石英舟已到位信号。本实用新型通过光纤感应器和金属位移传感器的配合作用,提高了扩散机械抓手及石英舟使用的安全性。
技术领域
本实用新型主要涉及太阳能电池生产设备,尤其涉及一种石英舟防砸保护系统。
背景技术
扩散制作PN结是太阳能电池生产工序中的重要环节。扩散自动上料过程是指将装有硅片的料盒放置在上料处,经过皮带输送至固定位置,搬运单元将硅片吸住并搬运至石英舟指定位置的卡槽内,然后由石英舟传输系统Boat Transport中的横移电机自动将装满硅片的石英舟传送至shuttle(石英舟传输底座)位置,等待机械手抓取至桨上进行扩散工艺。其中,石英舟传输系统Boat Transport主要用于舟的传进与传出,在传输导轨一端有一对气缸用于固定shuttle(石英舟传输底座)的位置,在上方有两对光纤感应器用来检测舟的位置是否偏移。横移电机在传输石英舟至shuttle(石英舟传输底座)位置时第一光纤感应器感应到阻隔物shuttle(石英舟传输底座),第二光纤感应器感应到阻隔物硅片,传出装载石英舟的shuttle(石英舟传输底座)已传送至规定位置的信号,触发扩散机械手抓取石英舟,如在规定时间内感应器未感应到信号即触发卡舟报警。实际运行过程中,光纤感应器附近容易被掉落的硅片碎片阻隔,导致石英舟横向未传送至规定位置,但是第一、二光纤感应器均感应到阻隔物,传递石英舟已传送至规定位置的错误信息,触发扩散机械手抓取石英舟时砸毁石英舟及硅片。这样不仅造成财产损失,同时会影响产能,损失严重。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术的不足,研究并发明了一种石英舟防砸保护系统,该系统结构简单、使用方便、精确度高。
为了解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
现发明一种石英舟防砸保护系统,包括石英舟和传送装置,所述石英舟的前侧设有金属部件,所述石英舟由所述传送装置输送到位;还包括光纤感应器和金属位移传感器,所述光纤感应器设置在所述石英舟到位时的后侧,所述金属位移传感器设置在所述石英舟到位时的前侧。
当所述石英舟到位时,所述光纤感应器可检测到所述石英舟的尾部,发出石英舟已到位信号;所述金属位移传感器可检测到所述石英舟前侧的金属部件,发出石英舟已到位信号。
所述石英舟包括石英舟本体和石英舟传输底座,所述石英舟本体设置在所述石英舟传输底座上,所述金属部件设置在石英舟传输底座的前侧。
所述金属位移传感器包含金属位移传感器探头,所述金属位移传感器探头与所述金属部件对准。
所述光纤感应器包括第一光纤感应器和第二光纤感应器。
所述第一光纤感应器包括两个,对称安装在所述石英舟的两侧;当所述石英舟到位时,第一光纤感应器与石英舟的后侧末端齐平。
所述第二光纤感应器安装在所述石英舟到位时的后侧,与所述传送装置水平面呈30°~80°夹角。
所述第二光纤感应器通过支架固定。
所述金属位移传感器位于所述传送装置的左侧。
所述金属位移传感器与所述金属部件的距离小于等于4mm。
所述传送装置为传送皮带。
有益效果:
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