[实用新型]一种基板加热组件

权利要求书

1.一种基板加热组件，其特征在于，包括：

加热板(1)，所述加热板(1)下表面设有若干出线孔；

接线座(2)，设于所述加热板(1)下方，所述接线座(2)与所述加热板(1)之间具有间隙；

接线探针(3)，弹性安装于所述接线座(2)内，所述接线探针(3)的一端与所述加热板(1)的出线孔弹性抵接。

2.根据权利要求1所述的基板加热组件，其特征在于，还包括支撑环(5)，所述加热板(1)固定于所述支撑环(5)的上端，所述支撑环(5)上设置有凹槽，所述凹槽内固定有隔热环(6)，所述隔热环(6)的高度高于所述凹槽，且所述隔热环(6)的上端与所述加热板(1)的下表面相接触，以使所述加热板(1)与所述支撑环(5)之间形成间隙。

3.根据权利要求2所述的基板加热组件，其特征在于，还包括固定于所述支撑环(5)上的进气板(7)和出气板(8)，所述出气板(8)位于所述加热板(1)的下方，所述进气板(7)位于所述出气板(8)的下方，所述接线座(2)固定于所述出气板(8)上。

4.根据权利要求3所述的基板加热组件，其特征在于，所述进气板(7)的上端开设有沟槽(71)，用于引入冷却气体；所述出气板(8)上设有出气孔(81)，用于排出冷却气体，所述沟槽(71)与所述出气孔(81)连通。

5.根据权利要求2-4任一项所述的基板加热组件，其特征在于，所述接线探针(3)固定于探针套管(4)内，所述接线座(2)上设置有沉孔(21)，所述探针套管(4)插设于所述沉孔(21)内。

6.根据权利要求5所述的基板加热组件，其特征在于，所述探针套管(4)的外部设有直径大于所述沉孔(21)的定位凸台(41)，所述探针套管(4)通过所述定位凸台(41)安装于所述沉孔(21)内。

7.根据权利要求6所述的基板加热组件，其特征在于，还包括下封板(9)，所述下封板(9)固定于所述支撑环(5)的下端，所述探针套管(4)的一端穿过所述下封板(9)。

8.根据权利要求2-4任一项所述的基板加热组件，其特征在于，还包括上盖加热件，所述支撑环(5)的周边设有一圈直径大于所述加热板(1)的环状凸起(51)，所述环状凸起(51)用于与所述上盖加热件相配合，以形成密封的加热腔体。

9.根据权利要求2-4任一项所述的基板加热组件，其特征在于，所述加热板(1)为陶瓷加热板，所述加热板(1)通过非金属螺钉固定于所述支撑环(5)上。

10.根据权利要求2所述的基板加热组件，其特征在于，所述接线座(2)和所述隔热环(6)的材质均为耐高温非金属材料。