[实用新型]一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置

权利要求书

1.一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置，其特征在于：包括石英舟(1)、激光测距传感器一(2)、激光测距传感器二(3)以及SIC桨(4)，所述石英舟(1)放置于SIC桨(4)上，所述激光测距传感器一(2)和激光测距传感器二(3)均固定于SIC桨(4)的桨头支架(41)上。

2.如权利要求1所述的实用的扩散炉推舟防偏移保护装置，其特征在于：还包括L型支架(5)，所述L型支架(5)固定于桨头支架(41)上，所述激光测距传感器一(2)和激光测距传感器二(3)成上下排列固定于L型支架(5)上。

3.如权利要求1所述的实用的扩散炉推舟防偏移保护装置，其特征在于：所述石英舟(1)包括端板(11)，所述激光测距传感器一(2)设定检测值为端板(11)前5mm，所述激光测距传感器二(3)设定检测值为端板(11)后5mm。

4.如权利要求1所述的实用的扩散炉推舟防偏移保护装置，其特征在于：还包括导轨(6)，所述桨头支架(41)与导轨(6)滑动连接。

5.如权利要求4所述的实用的扩散炉推舟防偏移保护装置，其特征在于：所述导轨(6)有两条，所述两条导轨(6)平行设置。