[实用新型]一种镀膜材料的清洗装置有效

专利信息
申请号: 201920632026.6 申请日: 2019-05-06
公开(公告)号: CN210138874U 公开(公告)日: 2020-03-13
发明(设计)人: 倪宏达;李克伟;龚盛霞;朱伟 申请(专利权)人: 苏州鼎奕通材料科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 南京中高专利代理有限公司 32333 代理人: 徐福敏
地址: 215000 江苏省苏州市吴中区东*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 材料 清洗 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种镀膜材料的清洗装置,包括:机架、位于机架上端用于收集清洗废弃液的收集箱、位于传送带一端用于对镀膜蒸发材料清洗前限位的第一气缸、位于传送带上端用于对镀膜蒸发材料进行清洗的喷头、位于喷头上端用于驱动喷头上下移动的第二气缸,当需要清洗时,清洗液储存箱通过导管将清洗液输送至喷头内,进而使得喷头对设置在传送带上的镀膜蒸发材料进行冲洗,喷头上下移动时能够调整与镀膜蒸发材料的距离,进而改变喷头喷出清洗液的范围和冲击力,使得清洗时能够根据镀膜蒸发材料的不同表面积和污染程度进行特别冲洗,保证了镀膜蒸发材料的表面洁净度和良好表面质量,同时也提高了清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜材料技术领域,尤其涉及一种镀膜材料的清洗装置。

背景技术

镀膜材料一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜,由于蒸镀过程中蒸发腔体是高真空状态,同时蒸发镀膜工艺的设备和产品价值很高,对蒸发镀膜用材料表面质量提出了极高要求。为防止对蒸发设备和产品造成污染,对蒸发材料表面的洁净度要求较高,因此蒸发材料的表面洁净度及外观是影响蒸发材料使用性能的决定性因素,其过程的控制尤为重要,现有技术中,还没有成熟的蒸发镀膜材料的清洗装置,开发一种能有效控制蒸发镀膜材料表面洁净度和良好表面质量的清洗装置具有重要意义。

实用新型内容

针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供了一种镀膜材料的清洗装置,以解决蒸发材料的表面洁净度及外观是影响蒸发材料使用性能的决定性因素,其过程的控制尤为重要,现有技术中,还没有成熟的蒸发镀膜材料清洗装置的技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种镀膜材料的清洗装置,包括:机架、位于机架上端用于收集清洗废弃液的收集箱、位于收集箱上端用于自动上下料的传送带、位于传送带一端用于对镀膜蒸发材料清洗前限位的第一气缸、位于传送带上端用于对镀膜蒸发材料进行清洗的喷头、位于喷头上端用于驱动喷头上下移动的第二气缸;

机架的上表面通过螺栓固定安装有收集箱,收集箱的上端设置有防护架,防护架通过螺栓与支架垂直固定,防护架的顶端通过螺栓固定安装有第二气缸,第二气缸的底端活动连接有伸缩杆,伸缩杆的底端贯防护架向下延伸,且伸缩杆的底端通过安装凸台活动连接有第一安装板,且伸缩杆贯穿第一安装板向下延伸,使得伸缩杆通过螺栓与第二安装板固定连接,第二安装板的底端等间距安装有若干第一支撑块,若干第一支撑块的底端均通过螺纹孔固定安装有喷头。

作为本实用新型的进一步方案,收集箱的上表面以中心线对称安装有若干支撑板,若干支撑板均通过螺栓与收集箱固定连接,且若干支撑板为“工”字形结构,若干支撑板的上表面通过螺栓固定安装有支架。

作为本实用新型的进一步方案,支架的相向一侧安装有传送带,传送带通过连接轴与支架活动连接,且传送带的一端设置有电机,电机的一端通过螺栓与支架固定连接,且电机的输出轴贯穿支架与设置在传送带上的连接轴转动连接,支架远离电机的一端通螺栓固定安装有防护箱,防护箱内设置有转轮,转轮通过键与转轴转动连接,转轴的一端贯穿支架与传送带活动连接。

作为本实用新型的进一步方案,防护架的一端设置有安装孔,安装孔为圆形通孔。

作为本实用新型的进一步方案,第二安装板的截面为T形结构,若干第一支撑块为L形结构,且若干第一支撑块的一端均设置有安装槽,安装槽为圆形通孔。

作为本实用新型的进一步方案,安装槽与喷头连通,且安装槽的一端连通有导管,导管贯穿设置在防护架一端的安装孔并与设置在机架一端的清洗液储存箱连通。

作为本实用新型的进一步方案,第一安装板上安装有防护罩,防护罩为内部中空的圆弧状结构,且防护罩的顶端通过螺栓与第一安装板固定连接。

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