[实用新型]一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置

说明书

本实用新型公开了一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，包括转动连接在真空镀膜机镀膜室内的上转板与下转板，所述上转板与下转板间固定连接有多个固定杆，多根所述固定杆上排列设有多个通过转动机构连接的放置板，多个所述放置板上设有多个工件放置槽，所述上转板内设有装置腔，所述装置腔内设有往复机构与复位机构，所述固定杆内设有条形腔，所述条形腔内设有与转动机构连接的角度调节机构。本实用新型结构合理，多个工件放置板能够实现角度自动的往复转动调节，从而对较复杂的外壳有着很好的镀膜效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置。

背景技术

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前在镀膜时需要将多个工件放置在工件架上，但是现有的工件架只能单纯的提供转动效果，一些工件由于外壳复杂，存在较多的拐角，如不进行角度的调节很难对复杂外壳壁进行镀膜。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，其多个工件放置板能够实现角度自动的往复转动调节，从而对较复杂的外壳有着很好的镀膜效果。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，包括转动连接在真空镀膜机镀膜室内的上转板与下转板，所述上转板与下转板间固定连接有多个固定杆，多根所述固定杆上排列设有多个通过转动机构连接的放置板，多个所述放置板上设有多个工件放置槽，所述上转板内设有装置腔，所述装置腔内设有往复机构与复位机构，所述固定杆内设有条形腔，所述条形腔内设有与转动机构连接的角度调节机构。

优选地，所述转动机构包括固定在开口内壁之间的转轴，所述转轴贯穿固定杆。

优选地，所述往复机构包括安装在上转板侧壁上的驱动电机，所述驱动电机的输出轴末端延伸至装置腔内并固定连接有凸轮。

优选地，所述复位机构包括水平放置在装置腔内的抵板，所述抵板的上端转动连接有与凸轮接触的滑轮，所述装置腔内固定有多个竖直设置的导向杆，所述导向杆贯穿抵板，所述导向杆上位于抵板与装置腔内底部间套设有弹簧。

优选地，所述角度调节机构包括滑动连接在条形腔内的齿条，所述齿条的上端固定连接有连接杆，所述连接杆的上端贯穿条形腔并延伸至装置腔内，所述连接杆的上端与抵板的下端固定连接，所述转轴位于条形腔内的外壁固定有齿轮，所述齿轮与齿条啮合。

优选地，所述驱动电机的外壁设有保护罩。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：

1、通过在固定杆上设有多个放置板，放置板上设有多个工件放置槽，能够放置较多的工件，大大提高镀膜效率。

2、通过设置往复机构、复位机构、转动机构以及角度调节机构，能够同时实现对多个放置板进行角度往复的调节，使加工工件随着放置板做扇形移动，从而使工件复杂的外壳均可得到镀膜。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置的俯视示意图；

图3为本实用新型提出的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置的A处结构放大示意图。