[实用新型]节能型直拉单晶炉有效
| 申请号: | 201920627314.2 | 申请日: | 2019-05-05 |
| 公开(公告)号: | CN210085616U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
| 发明(设计)人: | 魏海宁;林希宪;孙江南 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 | 代理人: | 华德明 |
| 地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 节能型 直拉单晶炉 | ||
1.一种节能型直拉单晶炉,包括矩形箱体(5),其特征在于,所述矩形箱体(5)的外侧面上端设有锥形罩(6),锥形罩(6)的外侧面上端中部设有柱形导流罩(10),柱形导流罩(10)的外侧面上端设有外壳体,外壳体的内侧面中部设有定位板(29),定位板(29)的上表面设有旋转电机(28),定位板(29)的上表面中部转动连接有中空转轴(30),中空转轴(30)的上端面设有电动提升装置(27),电动提升装置(27)上连接有吊绳(25),且吊绳(25)穿过中空转轴(30)设置,吊绳(25)的下端面设有拉晶杆(24),柱形导流罩(10)的外侧面中部设有锥形料嘴(26),锥形料嘴(26)的外侧面上端设有柱形进料管(15)和抽气口(12),柱形进料管(15)上设有第一阀门(16),柱形进料管(15)上连接有真空上料泵(11),旋转电机(28)和电动提升装置(27)的输入端均通过外部开关与外部电源的输出端电连接。
2.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于:所述柱形导流罩(10)的外侧面中部设有取料口,柱形导流罩(10)的外侧面靠近取料口的一端设有取料口盖板(9),取料口盖板(9)的外侧面设有把手。
3.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述矩形箱体(5)的内部设有坩埚(31),坩埚(31)的底部设有旋转装置,坩埚(31)的外侧面设有电加热装置。
4.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述矩形箱体(5)的前侧面设有操作口,矩形箱体(5)的前侧面靠近操作口的一端设有密封盖板(4)。
5.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述锥形罩(6)的外侧面设有进气管(7)和出气管(8),进气管(7)和出气管(8)的外侧面均设有阀门。
6.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述锥形罩(6)的内侧面上端转动连接有盖板(23),盖板(23)的外侧面与矩形箱体(5)的内侧面之间设有电控伸缩杆(22),盖板(23)与设置在锥形罩(6)上端面的出料口密封卡接对应设置,电控伸缩杆(22)的输入端通过外部控制器与外部电源的输出端电连接。
7.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述真空上料泵(11)的进料口通过导管连接有储料箱(1),储料箱(1)的上端面设有上盖板(14)。
8.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述锥形料嘴(26)通过设置在其外侧面的U形定位架(13)连接有L形竖板(2),L形竖板(2)的下表面通过托板(3)与矩形箱体(5)的外侧面相连。
9.根据权利要求1或3所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述锥形料嘴(26)的下端面通过导流管(20)延伸至坩埚(31)的内部,导流管(20)的外侧面设有第二阀门(21)。
10.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉,其特征在于,所述锥形料嘴(26)的内侧面中部设有电机(17),电机(17)的输出轴连接有推料螺杆(19),锥形料嘴(26)的外侧面下端设有电加热丝(18),电加热丝(18)和电机(17)的输入端均通过外部控制开关与外部电源的输出端电连接。
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