[实用新型]一种气体弧光放电装置以及与真空腔体的耦合系统

权利要求书

1.一种气体弧光放电装置，其特征在于，包括金属筒模块、第一电磁线圈模块、热丝电极模块、真空壁和绝缘体；

所述金属筒模块包括辅助阳极、金属筒、金属筒模块电源，金属筒模块电源阳极连接至辅助阳极，金属筒模块电源阴极连接至金属筒侧壁的底端；

所述第一电磁线圈模块包括第一电磁线圈和第一电磁线圈控制模块，所述第一电磁线圈控制模块包括第一电磁线圈控制集合和第一电磁线圈电源，第一电磁线圈控制集合和第一电磁线圈电源连接，第一电磁线圈控制集合控制第一电磁线圈电源的电流，第一电磁线圈电源与第一电磁线圈连接；

所述热丝电极模块包括热丝电极、热丝电极模块电源和两个金属电极，所述两个金属电极中的一个金属电极一端连接在热丝电极模块电源的阳极上，另一个金属电极的一端连接在热丝电极模块电源的阴极上，所述热丝电极连接在所述两个金属电极的另一端；

所述真空壁包括真空壁侧壁和真空壁顶盖，所述绝缘体包括第一绝缘体、第二绝缘体和第三绝缘体；所述真空壁侧壁的顶端和底部分别设置第二绝缘体和第三绝缘体，真空壁顶盖和真空壁侧壁之间通过第二绝缘体绝缘；

所述两个金属电极通过第一绝缘体悬浮在真空壁顶盖上；真空壁顶盖中心设置进气孔；

所述金属筒悬浮固定在真空壁顶盖上；

真空壁侧壁围绕在金属筒外围；所述第一电磁线圈围绕在真空壁侧壁外围；

真空壁侧壁和真空壁顶盖围成真空室，真空室下部为开放式。

2.根据权利要求1所述的一种气体弧光放电装置，其特征在于，所述金属筒材质选自金属钼、钨钼合金和钛合金。

3.根据权利要求1所述的一种气体弧光放电装置，其特征在于，所述金属筒材质为金属钼。

4.根据权利要求1所述的一种气体弧光放电装置，其特征在于，所述热丝电极选自钨钼合金、纯金属钼和钨丝。

5.根据权利要求1所述的一种气体弧光放电装置，其特征在于，所述热丝电极为钨丝。

6.一种根据权利要求1～5任一项所述气体弧光放电装置与真空腔体的耦合系统，其特征在于，所述真空腔体为封闭的抽真空容器，所述气体弧光放电装置安装于真空腔体内，真空壁侧壁下端与真空腔体对接，所述气体弧光放电装置安装在真空腔体上预留的法兰上；所述真空腔体内还设置工件架模块、第二电磁场模块、第三电磁场模块、热电偶和抽气系统；

所述工件架模块包括工件架和偏压电源，偏压电源的负极与工件架连接，偏压电源的正极与真空腔体的腔体壁连接，真空腔体是用于放置气体弧光放电装置的容器；

所述工件架、气体弧光放电装置的辅助阳极、热电偶位于真空腔体的内部；所述电源和电磁线圈均位于真空腔体外侧；

所述热电偶包括位于真空腔体内部顶端和底端的两个用于测量真空室内温度的热电偶；

在真空腔体上设置法兰口，抽气系统通过法兰结构与真空腔连接。

7.根据权利要求6所述气体弧光放电装置与真空腔体的耦合系统，其特征在于，所述第二电磁场模块包括第二电磁线圈和第二电磁线圈控制模块，所述第二电磁线圈控制模块包括第二电磁线圈控制集合和第二电磁线圈电源，所述第三电磁场模块包括第三电磁线圈和第三电磁线圈控制模块，所述第三电磁线圈控制模块包括第三电磁线圈控制集合和第三电磁线圈电源；所述第二电磁线圈控制集合和第三电磁线圈控制集合分别与第二电磁线圈电源和第三电磁线圈电源连接，控制电磁线圈电源的电流方向、电流大小和波形，电磁线圈电源分别与电磁线圈连接。

8.根据权利要求7所述气体弧光放电装置与真空腔体的耦合系统，其特征在于，所述气体弧光放电装置至少为一个。

9.根据权利要求8所述气体弧光放电装置与真空腔体的耦合系统，其特征在于，辅助阳极安装在气体弧光放电装置的对侧；

所述第二电磁线圈和第三电磁线圈位于气体弧光放电装置与辅助阳极之间；

所述工件架位于第二电磁线圈和第三电磁线圈之间，整个工件架被包裹在第二电磁线圈和第三电磁线圈产生的磁场内。