[实用新型]一种微型压电泵的隔膜及隔膜与泵体连接结构

权利要求书

1.一种微型压电泵的隔膜，包括设置在微型压电泵泵体内的隔膜，其特征在于，所述的隔膜包括两层紧贴的第一隔膜、第二隔膜，第一隔膜、第二隔膜的边侧处连接并密封，

第二隔膜上设有两个可向膜体侧边活动打开的使膜体两侧相通的第一膜舌、第二膜舌，

第一隔膜上对应第一膜舌处设有小于第一膜舌的第一通孔、对应第二膜舌处设有大于大二膜舌的第二通孔，第一通孔使第一膜舌仅能向远离第一隔膜侧活动打开，第二膜舌处的第一隔膜的膜体与泵体紧贴使第二膜舌仅能向第二通孔侧活动打开。

2.根据权利要求1所述的一种微型压电泵的隔膜，其特征在于，所述的第一膜舌、第二膜舌的形状结构一致。

3.根据权利要求2所述的一种微型压电泵的隔膜，其特征在于，所述的第一膜舌、第二膜舌为弧形。

4.根据权利要求1所述的一种微型压电泵的隔膜，其特征在于，第一膜舌、第二膜舌由开设在第一隔膜上的切口切割膜体形成。

5.根据权利要求1所述的一种微型压电泵的隔膜，其特征在于，所述的泵体上对应第一膜舌处设有大于第一膜舌的出液腔，泵体上对应第二膜舌处设有小于第二膜舌的进液腔，第二膜舌紧贴在进液腔上端的开口处，进液腔上端开口处阻隔第二膜舌向下活动。

6.一种微型压电泵的隔膜与泵体连接结构，包括权利要求1-5任意一项所述的一种微型压电泵的隔膜，其特征在于，所述的第一隔膜为透明膜，所述的第二隔膜为不透明膜，第二隔膜与第一隔膜间通过激光焊接连接，第二隔膜与泵体间通过激光焊接连接，激光穿过透明第一隔膜烧灼不透明的第二隔膜实现第二隔膜与第一隔膜、泵体的焊接连接。

7.根据权利要求6所述的一种微型压电泵的隔膜与泵体连接结构，其特征在于，所述的第一隔膜的厚度为0.05mm，所述的第二隔膜的厚度为0.1mm。

8.根据权利要求6所述的一种微型压电泵的隔膜与泵体连接结构，其特征在于，所述的第二隔膜为黑色膜，泵体为黑色。