[实用新型]辊轴装置有效
申请号: | 201920622437.7 | 申请日: | 2019-04-30 |
公开(公告)号: | CN210420146U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 冯红亮;蔡团结;孙红霞;胡超;舒毅 | 申请(专利权)人: | 米亚索乐装备集成(福建)有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 姜波 |
地址: | 362005 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辊轴 装置 | ||
本实用新型公开了一种辊轴装置,其特征在于,包括:设置在镀膜腔内的辊身,所述辊身上连接有转轴,所述转轴的一端通过磁流体密封圈穿设在所述镀膜腔上;所述转轴内还设有空腔,所述空腔内设有用于冷却所述磁流体密封圈的冷却液。本实用新型提供的辊轴装置能够对磁流体密封圈进行冷却,降低磁流体密封圈的工作温度,保证磁流体密封圈的工作性能,提高磁流体密封圈的使用寿命。
技术领域
本实用新型涉及辊轴传动技术领域,尤其涉及一种用于镀膜设备的辊轴装置。
背景技术
现在电子科技技术迅速发展,对一些特殊功能膜层材料需求迅速增长,比如柔性透明导电膜、柔性薄膜电池材料等。这些膜层材料的批量生产,完全依靠镀膜设备。镀膜设备中会使用大量的辊轴装置,用于实现工件的稳定传输,辊轴装置与镀膜腔之间通过磁流体密封圈进行真空密封。在镀膜设备工作过程中常伴随着较高的工作温度,而磁流体密封圈在工作时,不能承受较高的温度,较高的温度会使磁流体密封圈失效,使用寿命降低,因此需在工作的过程中需要对磁流体密封圈进行冷缺。
发明内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种辊轴装置,通过在转轴内设置冷却液,该辊轴装置能够有效降低磁流体密封圈的温度,保证磁流体密封圈的工作性能,提高生产加工过程的可靠性。
本实用新型提供了一种辊轴装置,包括:设置在镀膜腔内的辊身,所述辊身上连接有转轴,所述转轴的一端通过磁流体密封圈穿设在所述镀膜腔上;所述转轴内还设有空腔,所述空腔内设有用于冷却所述磁流体密封圈的冷却液。通过在转轴内的空腔通入冷却液,能够对磁流体密封圈进行冷却,降低磁流体密封圈的工作温度,保证磁流体密封圈的工作性能,提高磁流体密封圈的使用寿命。
本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案,并不构成对本实用新型技术方案的限制。
图1为本实用新型的辊轴装置示意图;
图2为本实用新型的辊轴装置的一个优选实施例的剖面图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例的附图,对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例,本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供一种辊轴装置,该辊轴装置设置于镀膜设备内,用于实现镀膜过程中工件的稳定传输,镀膜设备包括多个镀膜腔室,辊轴装置设置于镀膜腔室内,辊轴装置与镀膜腔之间通过磁流体密封圈进行真空密封。
本实用新型提供了一种辊轴装置,包括:设置于镀膜腔内的辊身1,辊身1上连接有转轴2,转轴2的一端通过磁流体密封圈穿设在镀膜腔上。磁流体密封圈的具体形式不做限定,只要能满足辊轴装置与镀膜腔之间的密封连接即可。可选地,磁流体密封圈为一个旋转轴承,旋转轴承上设置有通孔,通孔的内径与转轴2的外径相适配,磁流体在旋转轴承外圈和通孔之间形成一个O型密封环,旋转轴承与镀膜腔的侧壁相连。通过将磁流体密封圈设置为一个旋转轴承,既满足了转轴2与镀膜腔之间的密封连接,又可实现转轴2的转动。
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