[实用新型]三轴微型传感器高低温测试装置

权利要求书

1.三轴微型传感器高低温测试装置，包括温箱、主转轴系统、副转轴系统和测试板，测试板和副转轴系统均位于温箱内；

其特征在于：

主转轴系统由主马达、主转轴和配重构成，主转轴的第一端具有主转轴斜面，主转轴斜面与主转轴轴向成35.3°夹角，主转轴的第一端穿过温箱底板的开口并伸入温箱的保温腔内，主转轴的第二端位于温箱外且与主马达连接，主转轴的旋转轴向与主马达的旋转轴向一致，配重安装在主转轴上，且位于主转轴斜面的相对侧；

副转轴系统由副马达、底盘和三个定向柱构成，底盘呈柱形，底盘具有相互平行的顶平面和底平面，三个定向柱的端面均与各自的轴向相垂直，三个定向柱都固定在底盘上，三个定向柱的轴向相互垂直，且与底盘的底平面均成35.3°夹角，底盘与副马达连接，底盘的底平面垂直于副马达的旋转轴向，副马达固定在主转轴斜面上，副马达的旋转轴向与主转轴斜面相垂直；

三块测试板分别固定在三个定向柱的端面上，测试板上具有线路布局，三轴微型传感器待测样品安装在测试板上并通过导线与电信号测试仪器相连。

2.如权利要求1所述的三轴微型传感器高低温测试装置，其特征在于：所述的主转轴和定向柱均为空心柱体。

3.如权利要求1或2所述的三轴微型传感器高低温测试装置，其特征在于：所述的主转轴直接固定在主马达上，或通过辅助机械结构连接在主马达上，所述的辅助机械结构是联轴器或轴承。

4.如权利要求1或2所述的三轴微型传感器高低温测试装置，其特征在于：所述的底盘直接固定在副马达上，或通过辅助机械结构连接在副马达上，所述的辅助机械结构是联轴器或轴承。

5.如权利要求1所述的三轴微型传感器高低温测试装置，其特征在于：温箱底板的开口与主转轴之间的间隙用软毛刷填充封闭。

6.如权利要求1所述的三轴微型传感器高低温测试装置，其特征在于：三个定向柱的横截面为正方形、长方形、圆形或椭圆形。