[实用新型]一种电镀用铜离子补充装置

权利要求书

1.一种电镀用铜离子补充装置，其特征在于，所述装置包括槽体、离心泵以及储液槽，所述槽体内包括若干独立的槽室，槽室底部设有多孔隔板，槽室底部与储液槽联通且二者之间设有流量调节阀，所述离心泵位于储液槽与槽体之间，离心泵的输出端连接有多个输送管路，每个输送管路对应于一个槽室，用于向槽室内输送电镀液，每个输送管路的输出端设有阀门。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括液位监控装置，所述液位监控装置与槽室联通。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述液位监控装置为液位监控管，所述液位监控管内安装有液位传感器。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述槽室之间通过隔板分隔。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述槽体底部设有空腔，所述空腔与各个槽室底部连接。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述空腔与储液槽连接。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述空腔与液位监控装置连接。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述储液槽与电镀装置连接。