[实用新型]一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构有效
| 申请号： | 201920603328.0 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN209854242U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 干黎明;马国水;邵鑫 | 申请（专利权）人： | 光驰科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 31214 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 驱动齿轮 传动轴 镀膜基板 圆筒形 膜厚 正板 本实用新型 圆筒形基 物理气相沉积 真空镀膜技术 布置位置 传动配合 镀膜区域 放置位置 内壁镀膜 不一致 集成性 内壁膜 溅射 量产 面型 内孔 伸入 外接 转动 蒸发 驱动 | ||
1.一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。
2.根据权利要求1所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括至少两个传动轴，所述传动轴分别连接有传动齿轮，相邻的传动齿轮通过一过渡齿轮构成传动配合，相邻传动轴之间通过所述传动齿轮及所述过渡齿轮的啮合构成传动配合。
3.根据权利要求2所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述传动轴贯穿一固定底座设置且所述传动轴的两端伸出所述固定底座外，所述传动齿轮及所述过渡齿轮位于所述固定底座的顶面。
4.根据权利要求3所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述固定底座上连接有一固定支架，所述固定支架通过一辅正板支架与膜厚辅正板相连接，所述辅正板支架与所述固定支架之间可拆卸式连接。
5.根据权利要求4所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述辅正板支架的两端通过定位块可移动式设置在所述固定支架上。
6.根据权利要求1所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：在所述传动轴的底端设置有装夹过渡块，所述圆筒形镀膜基板可通过连接所述装夹过渡块与所述传动轴构成传动配合。
7.根据权利要求1所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述传动轴与所述膜厚辅正板的数量构成对应。
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