[实用新型]尾气防护装置及多晶硅还原炉

说明书

本实用新型公开了一种尾气防护装置及多晶硅还原炉，涉及多晶硅生产工艺技术领域，主要目的是避免硅棒倒炉时，块状多晶硅碎料砸坏尾气防护装置。本实用新型的主要技术方案为：尾气防护装置包括承载部和过滤部。承载部包括第一承载体和第二承载体，第一承载体嵌套于尾气管内，第二承载体的一端连接于第一承载体，另一端沿还原炉的炉底内面向尾气管端口外缘延伸；过滤部包括至少两个过滤件，至少两个过滤件分别连接于第一承载体，用于过滤硅粉颗粒。多晶硅还原炉包括炉体、尾气管和上述尾气防护装置。本实用新型主要用于降低尾气防护装置的损坏频次和更换频率。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产工艺技术领域，尤其涉及尾气防护装置及多晶硅还原炉。

背景技术

随着社会的快速发展，光伏领域得到越来越多的人的重视，而单晶硅成为太阳能电池板的主要材料。制作硅的过程中，还原炉内从三氯氢硅汽化器来的三氯氢硅与氢气的混合气体，送入还原炉内。在还原炉内通电的炽热硅芯/硅棒的表面，三氯氢硅发生氢化还原反应，生成的硅单质沉积下来，使硅芯/硅棒的直径逐渐变大，直至达到规定的尺寸。氢还原反应同时生成二氯二氢硅、四氯化硅、氯化氢和氢气，与未反应的三氯氢硅和氢气一起送出还原炉，经还原尾气冷却器用循环冷却水冷却后，直接送往还原尾气干法分离工序。多晶硅生长过程中，因异常会出现硅棒倒炉，炽热的硅棒会摔成规格不等的碎块。现有多晶硅还原炉底盘上的尾气出口直径一般在150mm左右，小于尾气孔的硅块会落入尾气管中，堵塞尾气管，影响还原炉的运行。停炉后需要花大量时间清理尾气管，且尾气管较长，直径较小，清理难度较大。严重影响生产效率。现有技术是在尾气管口上方布置防护罩，用来阻挡硅棒倒炉时掉下的小块硅料进入尾气管。

现有的防护罩高于尾气管管口，位于还原炉内，硅棒倒炉时，硅料直接砸在防护罩上，容易砸坏防护罩。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种尾气防护装置及多晶硅还原炉，主要目的是避免硅棒倒炉时，块状多晶硅碎料砸坏尾气防护装置。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型实施例提供一种尾气防护装置，该装置包括：

承载部，所述承载部包括第一承载体和第二承载体，所述第一承载体嵌套于尾气管内，所述第二承载体的一端连接于所述第一承载体，另一端沿还原炉的炉底内面向尾气管端口外缘延伸；

过滤部，所述过滤部包括至少两个过滤件，至少两个所述过滤件分别连接于所述第一承载体，用于过滤硅粉颗粒。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，前述的尾气防护装置，其中所述过滤部包括滑动连接于所述第一承载体的第一过滤件和第二过滤件,所述第一承载体固定有第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件连接于所述第一过滤件，用于支撑所述第一过滤件，所述第二支撑件连接于所述第二过滤件，用于支撑所述第二过滤件。

可选的，前述的尾气防护装置，其中所述第一过滤件位于所述第二过滤件和所述第二承载体之间，所述第二支撑件和所述第二过滤件固定连接。

可选的，前述的尾气防护装置，其中所述第一过滤件和第二过滤件均呈板状，且所述第一过滤件的板面均布有第一镂空孔，所述第二过滤件的板面均布有第二镂空孔，所述第一镂空孔的孔径大于所述第二镂空孔的孔径。

可选的，前述的尾气防护装置，其中所述第二承载体呈板状，且开有通孔，所述通孔固定连接于所述第一承载体，所述第二承载体的边缘位于尾气管管端口外缘。

可选的，前述的尾气防护装置，其中所述第一承载体呈管状。

可选的，前述的尾气防护装置，其中所述第一承载体包括多根连杆，多根所述连杆均沿尾气管的轴向延伸，且分别连接于所述第二承载体。