[实用新型]图像传感器

权利要求书

1.一种图像传感器，包括成像像素阵列，其特征在于，每个成像像素包括：

光敏区；

微透镜，所述微透镜形成在所述光敏区上方；

等离激元滤色器元件，所述等离激元滤色器元件插置在所述微透镜与所述光敏区之间；和

金属壁，所述金属壁围绕所述等离激元滤色器元件的周边延伸。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述等离激元滤色器元件包括具有多个开口的一个或多个金属层。

3.根据权利要求2所述的图像传感器，其中，所述一个或多个金属层具有上表面和下表面，并且其中所述金属壁形成在所述一个或多个金属层的所述上表面上方。

4.根据权利要求3所述的图像传感器，其中，所述多个开口中的每个开口从所述一个或多个金属层的所述上表面延伸到所述一个或多个金属层的所述下表面。

5.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述图像传感器还包括：

材料，所述材料形成在所述一个或多个金属层的所述上表面上方的所述金属壁之间，其中所述材料包括空气。

6.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述图像传感器还包括：

电介质层，所述电介质层插置在所述等离激元滤色器元件与所述光敏区之间。

7.一种图像传感器，包括成像像素阵列，其特征在于，每个成像像素包括：

光敏区；

微透镜，所述微透镜形成在所述光敏区上方；和

等离激元滤色器元件，所述等离激元滤色器元件插置在所述微透镜与所述光敏区之间，其中所述等离激元滤色器元件具有带有多个开口的至少一个金属层以及环绕所述至少一个金属层的金属壁。

8.根据权利要求7所述的图像传感器，其中，所述至少一个金属层包含选自以下项的材料：金、银、铂、铝和铜，其中所述金属壁包含选自以下项的材料：金、银、铂、铝和铜，其中所述金属壁从所述至少一个金属层的上表面朝所述微透镜向上延伸，并且其中，所述多个开口中的每个开口具有小于2微米的宽度。