[实用新型]单晶炉的炉内清洁装置有效
| 申请号: | 201920567197.5 | 申请日: | 2019-04-24 |
| 公开(公告)号: | CN210146609U | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
| 发明(设计)人: | 魏海宁;孔祥传 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号: | B08B9/08 | 分类号: | B08B9/08;C30B35/00 |
| 代理公司: | 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 | 代理人: | 华德明 |
| 地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单晶炉 清洁 装置 | ||
1.一种单晶炉的炉内清洁装置,包括低速电机,其特征在于,低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母,丝杠螺母转动连接有丝杠,丝杠的下端固定连接有转筒,转筒的下端面设置有连接轴,连接轴外侧面滑动连接有滑块,滑块的外侧面通过连杆连接有导块,连接轴的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆,第一伸缩杆的左侧面设置有第一固定块,第一固定块固定连接有清洗部,第二伸缩杆的右侧面设置有第二固定块,第二固定块固定连接有吸尘部,清洗部通过与外界储存清洗液的装置相连,洗尘部和低速电机与外置电源连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,转筒上端设置有安装孔且与丝杠固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,导块的数量为两个,且分别位于第一伸缩杆和第二伸缩杆的凹槽内。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,清洗部由安装板、骨架、过滤箱和棉性吸水布组成,安装板和骨架对称设置固定连接有过滤箱(13),过滤箱的外侧面设置有棉性吸水布。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,吸尘部由固定架,加强筋和吸尘箱构成,吸尘箱的上下表面对称设置有加强筋,加强筋的上表面固定连接有固定架,加强筋的数量为四个,四个加强筋均匀设置在吸尘箱的上下表面,吸尘箱(1)的外侧面设置吸尘孔。
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