[实用新型]单晶炉的炉内清洁装置有效

专利信息
申请号: 201920567197.5 申请日: 2019-04-24
公开(公告)号: CN210146609U 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 魏海宁;孔祥传 申请(专利权)人: 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
主分类号: B08B9/08 分类号: B08B9/08;C30B35/00
代理公司: 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 代理人: 华德明
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 单晶炉 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉的炉内清洁装置,包括低速电机,其特征在于,低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母,丝杠螺母转动连接有丝杠,丝杠的下端固定连接有转筒,转筒的下端面设置有连接轴,连接轴外侧面滑动连接有滑块,滑块的外侧面通过连杆连接有导块,连接轴的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆,第一伸缩杆的左侧面设置有第一固定块,第一固定块固定连接有清洗部,第二伸缩杆的右侧面设置有第二固定块,第二固定块固定连接有吸尘部,清洗部通过与外界储存清洗液的装置相连,洗尘部和低速电机与外置电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,转筒上端设置有安装孔且与丝杠固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,导块的数量为两个,且分别位于第一伸缩杆和第二伸缩杆的凹槽内。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,清洗部由安装板、骨架、过滤箱和棉性吸水布组成,安装板和骨架对称设置固定连接有过滤箱(13),过滤箱的外侧面设置有棉性吸水布。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,吸尘部由固定架,加强筋和吸尘箱构成,吸尘箱的上下表面对称设置有加强筋,加强筋的上表面固定连接有固定架,加强筋的数量为四个,四个加强筋均匀设置在吸尘箱的上下表面,吸尘箱(1)的外侧面设置吸尘孔。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司,未经徐州晶睿半导体装备科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920567197.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top