[实用新型]一种整片晶圆剥离花篮

权利要求书

1.一种整片晶圆剥离花篮，其特征在于：包括在竖直方向相隔一定间距连接的晶圆下托盘和晶圆上卡台；在晶圆下托盘上端面的相对两侧设有连接卡件；所述连接卡件的一端与晶圆下托盘的上端边缘固定，另一端与晶圆上卡台的下端边缘固定；晶圆下托盘沿竖直方向设有通孔；整片晶圆卡合在两个连接卡件之间，晶圆的待剥离面向下放置。

2.如权利要求1所述的整片晶圆剥离花篮，其特征在于：还包括可拆卸的提梁；所述提梁包括水平的第一提手和相对设置在晶圆两侧的连接杆；两个所述连接杆所在径向与两个连接卡件所在径向互相垂直。

3.如权利要求2所述的整片晶圆剥离花篮，其特征在于：所述连接杆的底端向晶圆一侧设有卡台；晶圆上卡台的底面设有与所述卡台匹配的卡槽。

4.如权利要求3所述的整片晶圆剥离花篮，其特征在于：所述卡台卡合在晶圆两侧。

5.如权利要求2所述的整片晶圆剥离花篮，其特征在于：所述第一提手的长度小于两个连接杆之间的距离；两个所述连接杆之间还设有第二提手；所述第二提手与第一提手以一定间隔平行设置。

6.如权利要求1所述的整片晶圆剥离花篮，其特征在于：晶圆下托盘和晶圆上卡台均为圆锥台形；晶圆上卡台的下端直径小于晶圆下托盘的上端直径。

7.如权利要求1至6任一项所述的整片晶圆剥离花篮，其特征在于：还包括均匀设在晶圆下托盘底端的若干花篮支架。

8.如权利要求1至6任一项所述的整片晶圆剥离花篮，其特征在于：所述晶圆上卡台沿竖直方向设有可以监视工作情况的观察孔。