[实用新型]一种量子芯片检测装置

权利要求书

1.一种量子芯片检测装置，其特征在于：包括探针卡槽盒、探针装置和检测装置；

所述探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器，所述底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述盖板可拆卸盖在所述底板上开有卡槽的表面，所述盖板上与所述底板上的各所述卡槽相对位置处开有通孔；各所述连接器分别可拆卸安装在所述盖板上的各所述通孔内，所述连接器远离底板的一端设有探针接头，靠近底板的一端设有一对接触针，各所述接触针在所述盖板盖合在所述底板上后，分别与放置在所述卡槽内的量子芯片的正极板和负极板接触并电连；

所述探针装置包括用于安装所述探针卡槽盒的探针座、探针和探针移动装置，所述探针固定在所述探针移动装置上，并在所述探针移动装置的带动下移动至所述探针卡槽盒的上方与所述探针接头连接；

所述检测装置与所述探针电连接。

2.根据权利要求1所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：各所述卡槽为矩形沉槽。

3.根据权利要求2所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：所述底板上的各所述卡槽以若干行若干列的形式均匀设置在所述底板的表面，其中：每一行中两相邻所述卡槽间的距离相等，每一列中两相邻所述卡槽间的距离相等。

4.根据权利要求3所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：各所述卡槽均相对于每一行所述卡槽或者每一列所述卡槽的排列方向倾斜设置。

5.根据权利要求1所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：

所述探针装置还包括自动进给装置，所述自动进给装置包括驱动装置、第一方向移动装置和第二方向移动装置，所述驱动装置驱动所述第一方向移动装置沿第一方向移动，所述驱动装置驱动所述第二方向移动装置沿第二方向移动，其中：所述第一方向和所述第二方向均为与所述探针卡槽盒的所述底板表面平行的水平方向；

所述探针卡槽盒通过所述探针座安装在所述自动进给装置上，其中：所述第一方向移动装置带动所述探针卡槽盒沿第一方向运动，所述第二方向移动装置带动所述探针卡槽盒沿第二方向运动，所述第一方向和所述第二方向交叉。

6.根据权利要求5所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：所述第一方向和所述第二方向垂直。

7.根据权利要求1所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：所述检测装置为用于检测量子芯片电容的电容检测装置或用于检测量子芯片电阻的电阻检测装置。

8.根据权利要求1所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：所述量子芯片检测装置还包括显示装置，所述显示装置与所述检测装置连接。

9.根据权利要求1所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：所述底板的内部设有中空的腔体，所述底板远离所述卡槽的表面开有第一气孔，所述底板上各所述卡槽的底部开有第二气孔，所述第一气孔和所述第二气孔均与所述腔体连通；

所述量子芯片检测装置还包括吸风装置，所述吸风装置包括吸风管，所述吸风管的进风口与所述第一气孔在所述探针卡槽盒的外部连通。

10.根据权利要求9所述的一种量子芯片检测装置，其特征在于：所述吸风装置还包括真空泵和电磁阀，所述真空泵与所述吸风管的出风口连接，所述电磁阀安装在所述吸风管上。